GES5椭圆测厚仪使用说明(VER09).docVIP

SOPRA GES5橢圓測厚儀使用說明(Ver0.9) 使用前檢查 檢查機台右方電源開關是否在ON的位置，若機台為OFF則為異常情況，請勿自行開啟。 檢查機台下方的汞燈燈源是否開啟，若未開啟可先將旋鈕調到min之後，再將綠色開關打開，並把旋鈕再旋至最大值；由於汞燈壽命僅數千小時，且高壓開關也容易損壞，故建議本機台汞燈由每日的第一位使用者開啟，五點中心下班時關閉，未來晚間是否開放則視使用情況而定。 檢查量測平台有無異常、polarizer及analyzer arm是否處在75度入射角等等。 檢查左下角的步進馬達控制面盤是否都亮綠燈，若有紅燈亮起代表有不正常斷電或關機，必須reset。 檢查電腦是否已開機，一般而言電腦是不關的，若有關機動作，必須重新初始化polarizer、analyzer及spectrometer。 GTEST：參數設定及校正程式 若電腦被關閉，重新開機後，請以使用者名稱Administrator，密碼nctuges5登入Windows 2000。 點選桌面上「Gtest_7」圖示。 Setup圖示：內部包含所有橢圓儀及其配件的相關設定，一般使用者請勿進入或更改任何數值！ Elements圖示：如果電腦被重新開機，必須點選此圖示以重新初始化橢圓儀，進入後可看到如右圖般的畫面，分別點選polarizer、analyzer及spectrometer的initialization按鈕，視窗最下方的狀態列會顯示出目前初始化的進度。如果電腦未被重開機，此步驟無需進行，以免耗損步進馬達壽命。 Calibration、Ellip Show、Photo Show圖示：用來重新校正橢圓儀光軸或檢驗橢圓儀功能之用，一般使用者請勿進入。 GESPACQ：參數量測程式 雙點GESPACQ的捷徑，一般使用者無需輸入密碼，且進入後無法更改量測參數。 Calibration圖示：用於校正polarizer及analyzer的a0/p0值，一般使用者請勿進入 放置待測sample於平台上，小心勿碰撞機械手臂。 點選show圖示，進入後，check左下角的參數值，如果波長在0.3 ~ 0.85μm內就無需更改，會比較快；或是更改入射波長為0.63μm, Analyzer angle為45, incidence angle為75度，這是對Si等不透明基板的建議值，目的只是為了調整出最強的入射光源。 點選Start按鈕，稍後十幾秒便會看到如右圖的畫面，緩慢調整平台下方的高度軸或傾斜角軸，以求出最大的cts/s值。完畢後點選Stop按鈕。 Exit跳出後，點選Parameters按鈕以設定量測參數，一般使用者請以Load功能載入預先設定好的量測參數。對進階操作者而言，先進入Polarization Geometry頁，需要更改或確認的部分是：入射角為75度，校正後的角度是74.68度，本橢圓儀可作多角度測量，但顧及機械手臂容易因操作不慎而毀損，暫時僅開放固定角度量測，而75度入射角對於oxide film而言，是對cos及tan參數最敏感的量測角度。 更換到Time wavelength頁，通常使用內定值即可，若要求快可減少Target shot數、改變掃瞄之波長範圍及量測點數，缺點當然是準確率降低，甚至數據點數不足以致無法進行回歸分析。 更換到Others頁，注意Use Attenuators及Use microspots是否有打勾，其他參數請勿動，全部check完畢後按Accept鈕離開。 點選Measurement按鈕，點選RUN之後，就會看到右圖般的畫面，量測時間依照點數的不同，約十分鐘到二十分鐘，視窗右上角可看到量測進度。若覺得機器有異常或想重新更改參數等等可按Stop鈕終止量測。 量測完畢後會跳出一個儲存視窗，請將檔案重新命名後儲存，儲存路徑統一放在C:\GESP\DATA內，請使用者在其底下自行建立子目錄，若硬碟空間不足，DATA內的資料不公告即逕行刪除，故重要資料請以軟碟或光碟備份。 你可以針對同一片wafer量測多個不同位置，事後利用WINELLI可一次進行所有的分析。 跳出Measurement及GESPACQ視窗 WINELLI:厚度、材料N、K值的模擬及分析 WINELLI是功能極為強大的模擬軟體，不僅可根據量測數據來分析材料的厚度及nk值，其他包括材料的組成及nk值隨波長的變化，或是多層膜對入射光波長的吸收情況都能進行模擬，以下只講解最基本的操作方式，若有進階需求可自行研究說明書。 點選桌面上WINELLI icon，可進入WINELLI主程式。 點選「第二個」read file圖示，並點選在步驟三之9所儲存的DAT檔。 點選功能表Analysis ( Regression，會跳出structure screen設定視窗