6 气相法.ppt

6.1 原理;;特点;加热源;①电阻加热;;③激光加热;⑤电子束轰击 利用静电加速器或电子直线加速得到高能电子束，以其轰击材料，使其获得能量，（通过与电子的碰撞）而受热气化。 ⑥等离子体喷射 电离产生的等离子体气体对原料进行加热。 ;⑦微波加热;气相法的分类;6.2 化学气相反应法;;应用领域;优势;分类;热CVD;激光化学气相沉积（LICVD）;;例如用连续输出的CO2激光辐照硅烷气体分子(SiH4)时，硅烷分子很容易热解。 热解生成的气相硅Si(g)在一定温度和压力条件下开始成核和生长。;等离子体化学气相沉积（PCVD）;(a)0K时，N2分子的两个原子程哑铃形，仅在X、Y、Z方向上平动； (b)大于10K时，开始旋转运动； (c)大于10000K时，原子间产生振动，分子与分子间碰撞，则分子会发生离解变为单原子：????????? ?? N2＋Ud——N＋N?????? 其中? Ud为离解能 (d)温度再升高，原子会发生电离： N＋Ui——N＋＋e??? 其中? Ui为电离能? 气体电离后，在空间不仅有原子，还有正离子和自由电子，这种状态就叫等离子体。;;等离子体可分为三大类;6.3 气相燃烧法;例—TiO2;特点;6.4 热解法;6.5 气相蒸发法;影响纳米微粒粒径大小的因素;结论;特点;气相蒸发法合成Cu纳米粒子 金属铜粒子呈球形，粒径在20~100 nm，粒子之间存在粘结。 ;分类;①电阻加热;改进;②等离子体加热;特点;分类;（1）直流电弧等离子体法;当等离子体被集束后，使熔体表面产生局部过热时，由生成室侧面的观察孔就可以观察到烟雾(含有纳米微粒的气流)的升腾加剧，即蒸发生成量增加了。生成的纳米颗粒粘附于水冷管状的铜板上。;该方法最适合于制备Fe、Ni及其合金(可用作磁性材料)的纳米微粒。 优点：所有的金属都不会与坩锅反应； 一次运转(约需60min)可以制备出数克至数十克的微粒。 ;（3）混合等离子体法;特点;（4）氢电弧等离子体法;多电极氢电弧等离子体法纳米材料制备设备图;合成机理;;产物;;电弧法制备铜纳米粒子的TEM照片 球形或椭圆形，尺寸在50-100nm左右。这些纳米铜粒子连接起来呈现链状。;氢电弧等离子体法制备的金属粒子特性;储氢性能;特殊的氧化行为;;而用化学法制备的??含有氢的纳米Fe粒子在空气中加热时，外表面首先被氧化在低温时就会形成金属核—氧化物壳。 ;③高频感应加热;基本原理;特点