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Auger电子能谱(AES)Auger Electron spectroscopy 陈长军 武汉科技大学 激光加工(研究)中心 武汉科技大学-楚天激光联合实验室 AES ?? Auger效应 1925年P.Auger已经在Welson云室内观察到Auger电子径迹，并正确地解释了这种电子的来源。 尽管当时人们已经认识到它可以成为一种成分分析的手段，但直到六十年代中期，随着金属的超高真空系统和高效的微弱信号电子检测系统的发展，才出现了可以用于表面分析的实用Auger电子能谱仪。 AES ?? Auger效应 随着科学技术的不断发展，使Auger电子能谱仪的性能不断改进，并出现了扫描Auger电子显微术(SAM), 成为微区分析的有力工具。 电子计算机的引入，使Auger电子能谱仪的功能更趋完善。目前， Auger电子能谱已成为许多科学领域和工业应用中的最重要的表面分析手段之一。 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 Auger效应 AES ?? Auger效应 Auger跃迁 AES ?? Auger效应 电子能级、X射线能级和电子数 AES ?? Auger效应 电子能级、X射线能级和电子数 AES ?? Auger效应 如果终态空位之一(跃迁电子) 与初态空位处于同一主壳层，即WiXpYq (pq)，则称为Coster-Kronig跃迁或C-K跃迁。 C-K跃迁是一种快过程，根据测不准关系?E??t?h可知C-K过程中的?E比较大，因此，表现在能谱上是一个比较宽的Auger峰。 若两个终态空位都与初态空位处于同一主壳层， 即WiXpYq 型跃迁(pi，qi)，称为超C-K跃迁。 AES ?? Auger效应 在实用的Auger电子能谱仪中，初态空位的产生是通过具有一定能量的电子束轰击样品表面而实现的。 用于表面分析的Auger电子的能量一般在0~2000eV之间。 AES ?? Auger效应 Perkin-Elmer公司的Auger电子能谱手册，其中给出了各种原子不同系列的Auger峰位置。 每种元素的各种Auger电子的能量是识别该元素的重要依据。 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子能量的半经验方法 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子能量的半经验方法 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子能量的半经验方法 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子能量的半经验方法 AES ?? Auger电子的能量和产额 电离截面 AES ?? Auger电子的能量和产额 电离截面 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子几率 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子几率 AES ?? Auger电子的能量和产额 平均自由程和平均逸出深度 AES ?? Auger电子的能量和产额 平均自由程和平均逸出深度 AES ?? Auger电子的能量和产额 平均自由程和平均逸出深度 AES ?? Auger电子的能量和产额 平均自由程和平均逸出深度 AES ?? Auger电子的能量和产额 背散射因子 AES ?? Auger电子的能量和产额 背散射因子 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子产额 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子产额 AES ?? AES装置 从1967年L.A.Harris采用微分方法和锁定放大技术，建立第一台实用的Auger电子谱仪以来，Auger电子谱仪无论是在结构配置上，还是在性能上都有了长足的改进。 Auger电子谱仪目前主要由Auger电子激发系统??电子枪，Auger电子能量分析系统??电子能量分析器，超高真空系统，数据采集和记录系统及样品清洗、剖离系统组成。 AES ?? AES装置 电子枪 AES ?? AES装置 电子能量分析器 AES ?? AES装置 电子能量分析器 AES ?? AES装置 电子能量分析器 AES ?? AES装置 电子能量分析器 AES ?? AES装置 电子能量分析器 AES ?? AES装置 真空系统 AES ?? AES装置 数据的采集和记录 目前，Auger电子谱仪的数据采集一般是以脉冲计数的形式，通过计算机采集不同能量下的Auger电子数的。用固定的数据分析处理远件进行分析、处理，并把结果输出到打印机和笔绘仪上。 AES ?? AES装置 离子