ESD防静电介绍.ppt

23 (B) 中和法(Neutralization) 利用静电消除器(Ionizer)来释出正、负离子以中和消除静电效应。目前 常用的静电消除器有下列几种： a. 放射性静电消除器 – 使用放射性物质钋或元素之辐射能来撞击空 气使之分裂成等量的正、负离子。使用此Ionizer必须加防护结构。 其优点是不需电源容易装置，具有防炸功能；缺点是使用寿命短 (每年更换)，必须离使用遇火警时极危险。 b. 高压静电效应消除器 – 利用针点高压(5KV左右)尖端放电来电离 空气分子。此种装置具有高效率及高安全性之特点，所产生之电 流仅几微安培(μA)，不会产生电击。 c. 感应静电效应消除器 – 这是利用带电物质之高电压(对接地点)来 电离空气离子 ESD防静电知识讲解 24 3. 摒蔽静电场（Field Shielding） 此种方法乃利用Farady Cage 之原理使静电场被摒蔽在容器之外围。 图是－5KV电场下各种容器内测得的静电场，右图是一摒蔽电场之模型 電場無法貫穿僅分佈表面 電 壓 (kv) 時間 (秒) 0 1.0 2.0 3.0 1.0 2.0 3.0 導電袋 防靜電袋 一般PE袋 金 屬 容 器 ESD防静电知识讲解 什么是静电放电 (ESD) 静电如何形成 半导体产品抗静电能力 ESD 的影响质量方式 组件被ESD 破坏之原因及型态 ESD破坏分析 静电防护 各类常用静电防护材料 各种静电标示警告 制程对ESD之要求 ESD防静电知识讲解 25 ◇ 各类常用静电防护材料 1. 静电环 – 由伸缩拉环，内含1MegaΩ ±10%电阻之导线及接头所构成。 配带静电环时必须注意到： (a)静电环必须与手紧密接触， 不可松脱或套于衣袖上 (b)与接地之间必须保持1MΩ ±10%之电阻 (c)接头必须固定妥当， 当接头未接地妥当时，不得碰触材料 2. 抗静电材料(袋、管、管塞、盒等) – 在材料上涂布抗静电液， 使材料不会产生静电荷，或仅产生微量的静电荷(通常在100V以下)。此类材料表面电阻要求在1012Ω/square以下，静电消散时间2sec。使用此材料应： (a)此材料仅能防止本身产生静电，而却无法防止静电场破坏 (b)表面涂层必须考虑其有效期 (c)一般工业界会将此类产品制成粉红色 例如：防静电服。 ESD防静电知识讲解 26 3. 静电遮蔽材料(袋、管、管塞、盒等) – 此种材料一般含有二或三层，上下(或外)层是抗张力强的抗静电化学合成物质(R1012Ω/square，静电消散时间2sec) ，中间(或内)层是一层薄薄的金属箔(105 R 109 Ω/square)。使用时需注意： (a) 避免使用尖锐物品刮坏金属层 (b)封闭的导电袋或容器才有完全之保护 例如： IC包装盒，面板包装袋 等 4. 静电消除器 – 利用仪器所产生的大量离子，将绝缘体表面的静电予以中 和。使用静电消除器必须注意： (a)静电消除器必须在工作范围4~5呎内方为有效区域 (b)静电消除器必须定期清理所积聚之灰尘，至少3个月内清理一次 (c)静电消除器必须定期检查其离子是否平衡 (d)静电消除器会产生臭氧(O3) 对人体无害(有益) ，但臭氧浓度不可超过 0.1DPP M ，否则其异味会使人难以忍受 ESD防静电知识讲解 27 5. 防静电工作桌 1. 防静电服 2. 静电环 3. 防静电桌面 4. 静电消除器 5. 静电鞋 6. 导电地板 ESD防静电知识讲解 28 注：各接地点之标准接法 6. 其它常用抗静电材料： (a)防静电手套、指套 (b)抗静电手套、袖套 (c)静电消除剂 (d)静电鞋 ESD防静电知识讲解 什么是静电放电 (ESD) 静电如何形成 半导体产品抗静电能力 ESD 的影响质量方式 组件被ESD 破坏之原因及型态 ESD破坏分析 静电防护 各类常用静电防护材料 各种静电标示警告 制程对ESD之要求 ESD防静电知识讲解 29 ◇ 各种静电标示警告 A.〝对ESD敏感〞标示： C.〝保护〞+外弧去斜线之标示： 适用于告知电子零组件对ESD 用于工具或材料上已