多厂 仪器 测量对比 报告.pptx

膜厚测量对比报告 2013.4.4 n目录：一、目的及意义二、各厂区 F20膜厚仪 情况三、样本说明及测量方法步骤四、其它说明及注意事项五、结论评价原则六、数据处理七、统计分析八、结论九、其它分析方法及建议一、目的及意义：Sio2厚度测量是公司内重要的关键控制测量项目，为考查三厂使用同种型号仪器测量结果的一致性，确保测量的可靠性，特开展本次计划。 通过本次测量结果的对比不仅能客观地反映各厂F20 膜厚仪测量的重复性，同时还可以了解其差别有多少，以便评估改进测量系统。注：本次的对比结果对于是否改善提供参考，不做定论。二、各厂区 F20膜厚仪 情况：1、F20膜厚仪简介：美国Filmetrics公司生产，是利用反射干涉的原理进行无损测量，可测量薄膜厚度及光学常数。测量精度达到埃级的分辩率，设备光谱测量范围：波长范围从215nm到1700nm。测量薄膜厚度：10埃到350微米之间，测量精度：1埃，测量稳定性：0.7埃，测量时间：一到二秒。二、各厂区 F20膜厚仪 情况：2、F20膜厚仪 分布及使用情况：厂区厦门厂安徽厂天津厂数量1613、参与 比对的仪器 ：厂区名称型号出厂号管理号厦门厂F20型号膜厚仪02G018XM-PD2-N-0064安徽厂A10220001840002/天津厂/TJ-PD2-N-1201注：天津与安徽厂区应加强仪器的管理，管理号与出厂号应一一对应。三、样本说明及测量方法步骤：1、样本说明：样本选择来源于产线产品的破碎品，经过均匀性的初步确认后确定测量位置并标识。测量点：13 处 如右图范围：2200? ~ 2600? 2、测量方法步骤：1、确认仪器测量准确。仪器测量标准片，连续三次在标准片范围内。2、测量样品片的指定位置。连续测量三次。并记录数据。3、更换样品片。测量样品片的指定位置，并记录连续测量三次的数据。4、重复步骤3。至所有样品片测量完成。5、重复1-4步骤。第二次记录测量数据。6、重复1-4步骤。第三次记录测量数据。7、重复1-4步骤。第四次记录测量数据。四、其它说明及注意事项：1、此方法只针对各厂区薄膜站测量厚度的仪器，即Filmetrics公司F20型号仪器。2、样品片在测量过程中一定要轻拿轻放，防止破裂。3、测量过程中一定要测量到圈圈位置内，严禁测量到边沿线。4、测量人员一名为公司内指定专业测量人员。厂区测量人员测量日期标准片规格环境*-2013.2.227261±10?21℃ 40%--2013.3.147157.8?20℃ 50%+-2013.3.287254±10?22℃ 38%说明：*标准片规格与其它二厂的不同；建议：安厂应加强与重视仪校的管理工作。五、结论评价原则：1、重复性（分散性）判定 依据 贝塞尔公式计算出，各厂测量每件样品结果的分散性。以 s(x) ≤20埃米 可接受（注：依据公司内校准管理规范）2、三厂测量结果的对比差异。 注：因选择样片来源为生产线，无标准值，故对测量结果的准确性不做判定。只对三厂测量结果进行对比差异。六、数据处理：1、鉴于A与T厂提供出，以下不合理数据，暂将样品4与样品11剔除。余下11件样品数据2、三厂测量原始数据如下附件3、将样品测量均值由小到大排列并编序号。如下表1，测量值依次增大。天天样品42575 2574 2573 2556 2554 2556 2565 2654 2563 2570 2571 2581 安厂样品112202 2201 2201 2193 9095 2195 2195 2661 2195 2194 2196 2194 样品与序号对应 表1序号1序号2序号3序号4序号5序号6样品6样品7样品8样品9样品3样品10序号7序号8序号9序号10序号11样品5样品1样品2样品12样品13七、统计分析：1、各厂区仪器测量的重复性（分散性）判定重复性序号1序号2序号3序号4序号5序号6序号7序号8序号9序号10序号11结果样品6样品7样品8样品9样品3样品10样品5样品1样品2样品12样品13天2.48 3.37 2.84 2.77 6.53 2.11 6.35 5.99 4.87 5.71 3.01 PASS安13.74 0.90 2.52 8.62 6.63 7.30 4.96 9.52 6.28 1.88 7.36 PASS门15.11 4.06 16.03 10.13 5.71 8.39 14.89 10.21 12.11 8.65 3.07 PASS七、统计分析：2、各厂区仪器测量结果值的描述说明：以每厂仪器的测量每件样品12次的均值做为此件样品的测量结果值测量均值序号1序号2序号3序号4序号5序号6序号7序号8序号9序号10序号11样品6样品7样品8样品9样品3样品10样品5样品1样品2样品12样品13天2271 23