基于光电位移检测的振动测量控制技术研究.pdf

电子测量与仪器学报 2009年增刊 基于光电位移检测的振动测量控制技术 张大兴1 贾威2官伯林1 (1西安电子科技大学机电工程学院西安710071； 2西安新邮通信设备有限公司西安7l∞75) Sensitive 摘要I位置敏感探测器(Position 测器件，具有位置分辨率高和响应速度快等优点。采用PSD进行非接触振动测量，既不会影响被测对象的振动特性，又能有 效避免传统加速度传感器超低频振动测量时的漂移问题，克服了需要速度、位移作为反馈或前馈控制量时所带来的积分相位 漂移和频响带宽下降等缺点。本文设计了基于PSD的振动检测及控制系统，详细分析了影响测试性能的主要因素并提出了解 决方法。基于设计的测罱系统，进行了振动检测及控制实验，实验结果验证了该测量方法的有效性。 关键词：位置敏感探测器；振动：非接触；检测 中图分类号lTP216文献标识码：A forvibrationmeasurementandcontrolbasedon Investigation photoelectricdisplacement detection JiaWbrGuanBolin‘ ZhangDaxin91 ofMechano-Electronic (1School University,Xi’all710071，China； Engineering,Xidian 2Xi’anNewPostcom Co．，LtdXi’an710071，China) Equipment Abstract：PositionSensitive all sensor surface Detector(PSD)is positionutilizingphotodiode optoclectronic as dataandfeatures resolutionand discreteelementdetectorssuchCCD，PSD continuous high high-speed provides position position test of vibration．Itwillnotaffectthevibration of has low performance response．Itespeciallyhighprecisiondetectingfrequency PSD．Itcan the butalsothe ofthevibrant overcomesthe not shortages obJectusing provideonlydisplacementvelocity object,which sensors the oft