半導體廠耗能指標及節能方案之研究.ppt

MAU冰水系統:單冰水及雙冰水 外氣空調箱單/雙冰水溫度能量比較圖 冰水溫度提高1℃ 主機效率可提高6%。 可減少的冰水主機購買成本。 每年可節約電力達97,000kWH (194,000元) 。 每年節約達2.3%。 MAU加熱系統:電熱及熱回收系統 外氣空調箱加熱系統能量比較圖 採冰水主機冷凝溫度回收供加熱使用，不須燃料或電力。 可減少鍋爐購買成本。 每年可節約電力達957,000kWH (1,914,000元) 。 每年節約達29%。 外氣空調箱(MAU)系統元件最佳化的選擇 外氣空調箱各組合系統整年總耗電能比較圖 總耗電能隨著系統剛開始採用鼓風式單冰水電熱水鍋爐加熱系統慢慢改成最後的抽風式雙冰水冰機熱回收加熱系統而減少，其耗電量亦隨著外氣溫度的升高而提升。 節能方面 降低外氣空調箱出風溫度的效益 已知無塵室的負荷為: q infiltration + q clean room + q FFU + q Lighting + q people + q 其他 = q MAU + q Dry coil 調降出風口1℃的效益 q MAU =ρQC△T = 1.19 *16,467 * 60= 1,175,743.8 kJ/hr =1,175,743.8 ÷ 4.186 (kJ/kcal) ÷ 3024 (kcal/RT) = 92.8 RT 先前計算每冷卻負荷所須要之電力能源是0.257 , 換算一日節省的電費為: = 92.8( RT )*3,024(kcal/RT) ÷860(kcal/kW)*1.7(平均購電成本)*24 = $13,313.4 NTD 外氣空調箱(MAU) 出風溫度 外氣空調箱出風溫度變化能量比較圖 出風溫度降低1℃一年可減少加熱量300,000kW-hr(36.2%)。 出風溫度降低1℃一年可減少乾盤管能力300,000kW-hr。 PCW節能設計 製程冷卻水的節能 (1) Open system change to close system 冷卻容量為18,700 LPM *3.2*60 = 3,590,400 KCAL/Hr 冷卻水溫度差△T為3.2℃，揚程為56M Open system 冷卻水量則為 (18,700 L/min)。 =1187.3 RT 每日總耗電量為10,733 KWH 製程冷卻水的節能 (2) Close system 每日總耗電量為6,816 KWH 冷卻容量為14,640 LPM *4*60 = 3,590,400 Kcal/hr 冷卻水溫度差△T為4℃，揚程為34M 冷卻水量則為 (14,640 L/min)。 =1161.9 RT 製程冷卻水的節能 (3) (10,733 – 6,816) * 365 * 1.7 NTD/KWH (2002年平圴購電成本) =NTD 2,430,498 Per year Open system change to close system 節省電費: ? 節約電力折算二氧化碳減少量: (10,733 – 6,816) * 365*0.65/1000=929.3噸/年 ? * * 半導體廠耗能指標及節能方案之研究 指導教授:胡石政 博士 希望建立半導體廠耗能指標,與各相關半導體廠做相對應比較 建立更良好的能源使用模式，在能源使用上更有效率 簡介 台灣高科技產業，以半導體晶圓製造及光電產業為主，高科技 產業之能源需求量相當龐大。 潔淨室最佳化設計包含系統節能的設計 潔淨室最佳化設計包含系統節能的設計，一個節能化的潔淨室設計雖然有些會增加初設成本的支出，但總體而言，經過了二、三年運轉後其減少的電費，往往可大於當初初設成本的費用；其潔淨室的節約能源技術主要項目約分為十八類： (一)、冰水主機系統 (二)、冰水系統 (三)、冷卻水系統 (四)、外氣空調箱 (五)、排氣系統 (六)、照明系統 (七)、電力系統 (八)、儲冰系統 (九)、吸收式冰水主機 (十)、C / R內循環送風系統 (十一)、微環境系統 (十二)、終級過濾器最省能配置 (十三)、MAU出風口位置選擇 (十四)、檢討排氣系統洩漏旁通問題 (十五)、空調箱再熱 (十六)、外氣引進控制 (十七)、空調負荷確定 (十八)、人員、設備操作維護之管理 負荷計算 一. Clean Room Area ： 11,182 m2 ( 8,717 m2 MAIN FAB) 二. Re. Humidity ： Photo : 43