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盐酸清洗缓蚀剂的研究进展

2000 3 March. 2000 14 1 Journal of Nanchang Institute of Aeronautical Technology Vol. 14 l 1 敖建平 孙国忠 曾为民 ( 330034) , , , T 174.42 4% , , , 60 ,,, , , , ,, , , , 4 5 , @ 10 T , , ,,: ,/ 0 ,/ 4 , 0 , , ; , , , : ( , ) ,; , :A- 1 70 ~ 90 , , , 200 220~ 280e , 2 , 150e 0.4 Pa , 5 ,,, 1 , , 60e 10% HCl , 3 6 , (RA) , , 10 RA 15 RA 1 5 RA0.2%10 RA 80e 15%HCl A 3 1. 1 98. 29% , 60 e , 1. 1. 1 松香衍生物系 99. 61% ,RA , 88% , , 2 : 2000- 03- 01 : , , 1961 , 1 : 51 , 10 RA , 99.65%93. 42% , 10 , , 0. 2% 10 RA+ RA- 10 RA- , 0.5%0. 2%, 表 1 几种缓蚀剂对盐酸介质中Q235 钢缓蚀性的影 2 0. 28 0. 35 1.47 10. 30 3. 90 ( g/ nm )

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