两种非球面面形的光学测量方法研究-中国机械工程.PDFVIP

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2018-04-21 发布于天津
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两种非球面面形的光学测量方法研究-中国机械工程

两种非球面面形的光学测量方法研究———朱勇建尹韶辉盛晓敏等两种非球面面形的光学测量方法研究朱勇建尹韶辉盛晓敏唐昆暋 , , 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心长沙 410082 : , 。摘要采用结合四步相移的条纹投影法实现了物体三维轮廓的测量把计算机产生的干涉条纹作 , , ——— 为投影源在实验中采集幅相移条纹图利用所提出的相位重建算法基于离散余弦变换的快速相 4 , 。 , 位重建算法得到了物体的三维尺寸设计了新的径向剪切式同步相移干涉仪该干涉仪采用块雅敏 2 , , , 平板利用偏振光干涉原理实现了幅条纹图的同步采集可对不同口径的非球面面形进行测量并能 4 , , / 。避开振动的影响抗干扰能力强其理论精度可达到波长的1100 : ; ; ; 关键词非球面测量条纹投影剪切干涉相位重建中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TH911.74暋暋暋 1004 132X200903 0271 05 ResearchonTwoO ticalMethodsforAshericMeasurement p p ZhuYon ian YinShaohui暋Shen Xiaomin Tan Kun gj g g NationalEnineerin ResearchCenterforHihEfficienc Grindin, g g g y g , , HunanUniversit Chansha410082 y g : , AbstractTorealizethe3D rofilometr afour-ste haseshiftin methodinteratedwith p y pp g g , frines roectionwasadoted.Inthefrine- roection rofilometr acom uter-simulatedfrine g p j p g