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椭圆仪ellipsometer操作手册.PDF
橢圓儀
ellipsometer
操作手冊
放置地點:綜合大樓 104實驗室
管理老師: 游洋雁 老師
管理實驗室: 光電高分子實驗室
實驗室分機: 4689
*橢圓儀使用規範*
1. 儀器使用操作人員考核分為 A (管理者)、B (使用者)兩級,未經
考核嚴禁操作 ,使用儀器前後 均須確實填寫使用紀錄本,若經發
現未填寫紀錄本,第一次將予以停權三個月,第二次將永久停權。
A 級:可自行獨立操作且具備儀器設備基礎維修能力 ,即管理者。
B 級:可自行獨立操作,但無維修能力 。
2.嚴禁任意修改橢圓儀內部參數及軟體設定。若因人為疏失或操作
不當造成機台損壞,將永久停權,並視情節輕重,須負賠償責任。
3. 機台因個人需要,須建立個人Recipe ,請負賠償責任。
4. 使用橢圓儀前請確實閱讀使用說明 ,使用後需將試片載台位置調
降至刻度 20 ,並作機台原點復歸。作原點校正時,須將試片載台
高度位置調降至刻度 20 。
5. 使用完畢後請將檔案存至 C:並以學號命名個人資料夾或以燒錄方
式取出,勿將檔案存至桌面,管理者將不定期清除桌面上未知名
檔案。
6. 操作機台前,先確認上一位使用者是否有將機台作原點復歸,且
試片載台位置刻度是否為 20 ,確認機台狀況正常始可使用,若發
現異常,請立即通知管理者處理。
7. 實驗儀器區域內禁止任何飲食。
8. 非本系所成員須經過實驗室負責老師同意並通過認證者方可使
用。
*橢圓儀預約使用規範*
1. 必須有通過資格認證者方可預約
2. 依照考核級可預約使用時間如下:
週一~週五 週一~週五 週一~週五夜間
等級 時間
9 :00~13 :00 13 :00~17 :00 及週六日
專題生
B 級
研究生
A 級
3. 預約後無使用,未事前通知管理者取消預約者,第一次將予以停
權一個月,第二次將停權半年,累計三次取消其認證資格。
4. 預約表以周為單位,將於每週五下午 1點張貼於實驗室門口,開
放預約。
5. 預約時間專題生單次預約限定 4 小時,研究生單次預約限定8 小
時,若到星期一上九點無人預約則專題生單次預約可增加至 8 小
時,研究生可增加至 24 小時,若皆無人預約則先到者先使用但單
次限定4 小時除非後面無人使用方可繼續使用。
6. 外校預約使用須經過實驗室負責老師同意並通過認證者方可使
用。
7. 管理者實驗室分機 4689 光電高分子實驗室。
機台緊急連絡方式
管理負責單位名稱 光電高分子實驗室
管理負責單位電話 分機4689
管理負責老師 游洋雁
管理負責老師電話 分機4676
手機 0912-272-296
106 學年負責管理學生 楊承淮
分機4689
手機0974-006-105
機台A/B 級別考試內容
A 級考試
拆裝機台及更換零件,異常狀況排除與處理。
B 級考試
可獨自完成檢測的操作,了解異常狀況。
注意事項
1. 使用前請確實於使用登記簿上簽名並詳填使用時間、指導老師、
樣品組成及儀器狀況等。
2. 具有腐蝕性蒸氣之溶液樣品,不得置放於機台內。
3. 使用前請確實經過暖機步驟或確認機台穩定性後再行測量,實驗
參數請自行牢記。
4. 為防止電腦一再中毒,數據請用網路傳送,不允許使用USB或是
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