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椭圆仪ellipsometer操作手册.PDF

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椭圆仪ellipsometer操作手册.PDF

橢圓儀 ellipsometer 操作手冊 放置地點:綜合大樓 104實驗室 管理老師: 游洋雁 老師 管理實驗室: 光電高分子實驗室 實驗室分機: 4689 *橢圓儀使用規範* 1. 儀器使用操作人員考核分為 A (管理者)、B (使用者)兩級,未經 考核嚴禁操作 ,使用儀器前後 均須確實填寫使用紀錄本,若經發 現未填寫紀錄本,第一次將予以停權三個月,第二次將永久停權。 A 級:可自行獨立操作且具備儀器設備基礎維修能力 ,即管理者。 B 級:可自行獨立操作,但無維修能力 。 2.嚴禁任意修改橢圓儀內部參數及軟體設定。若因人為疏失或操作 不當造成機台損壞,將永久停權,並視情節輕重,須負賠償責任。 3. 機台因個人需要,須建立個人Recipe ,請負賠償責任。 4. 使用橢圓儀前請確實閱讀使用說明 ,使用後需將試片載台位置調 降至刻度 20 ,並作機台原點復歸。作原點校正時,須將試片載台 高度位置調降至刻度 20 。 5. 使用完畢後請將檔案存至 C:並以學號命名個人資料夾或以燒錄方 式取出,勿將檔案存至桌面,管理者將不定期清除桌面上未知名 檔案。 6. 操作機台前,先確認上一位使用者是否有將機台作原點復歸,且 試片載台位置刻度是否為 20 ,確認機台狀況正常始可使用,若發 現異常,請立即通知管理者處理。 7. 實驗儀器區域內禁止任何飲食。 8. 非本系所成員須經過實驗室負責老師同意並通過認證者方可使 用。 *橢圓儀預約使用規範* 1. 必須有通過資格認證者方可預約 2. 依照考核級可預約使用時間如下: 週一~週五 週一~週五 週一~週五夜間 等級 時間 9 :00~13 :00 13 :00~17 :00 及週六日 專題生   B 級 研究生    A 級    3. 預約後無使用,未事前通知管理者取消預約者,第一次將予以停 權一個月,第二次將停權半年,累計三次取消其認證資格。 4. 預約表以周為單位,將於每週五下午 1點張貼於實驗室門口,開 放預約。 5. 預約時間專題生單次預約限定 4 小時,研究生單次預約限定8 小 時,若到星期一上九點無人預約則專題生單次預約可增加至 8 小 時,研究生可增加至 24 小時,若皆無人預約則先到者先使用但單 次限定4 小時除非後面無人使用方可繼續使用。 6. 外校預約使用須經過實驗室負責老師同意並通過認證者方可使 用。 7. 管理者實驗室分機 4689 光電高分子實驗室。 機台緊急連絡方式 管理負責單位名稱 光電高分子實驗室 管理負責單位電話 分機4689 管理負責老師 游洋雁 管理負責老師電話 分機4676 手機 0912-272-296 106 學年負責管理學生 楊承淮 分機4689 手機0974-006-105 機台A/B 級別考試內容 A 級考試 拆裝機台及更換零件,異常狀況排除與處理。 B 級考試 可獨自完成檢測的操作,了解異常狀況。 注意事項 1. 使用前請確實於使用登記簿上簽名並詳填使用時間、指導老師、 樣品組成及儀器狀況等。 2. 具有腐蝕性蒸氣之溶液樣品,不得置放於機台內。 3. 使用前請確實經過暖機步驟或確認機台穩定性後再行測量,實驗 參數請自行牢記。 4. 為防止電腦一再中毒,數據請用網路傳送,不允許使用USB或是

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