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第一章第一节-扫描电子显微镜.ppt

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    01第一章第一节扫描电子显微镜PPT

    第一章扫描电子显微镜 一、照明系统（电子光学系统） 二、成像系统 三、样品台 四、真空系统 五、稳压系统 第一节扫描电子显微镜结构 一、照明系统（电子光学系统） 电子枪：提供稳定的电子照明源 聚光镜（二级、有光栏）：束斑2μm 物镜及偏转线圈：束斑 几十Å 二、成像系统 成像系统 成像系统 五、稳压系统 10-4

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