850 nm窄带低通滤光片性能指标管控.doc

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850 nm窄带低通滤光片性能指标管控

客户成品指标850 nm窄带低通滤光片性能指标管控 类型 指标 材料 浮法玻璃+黑玻璃 中心波段 848-852nm 波峰透过率 50-60% 半波峰带宽段 840-860 nm 截至深度 320-820 nm在0%-1% 880-1000 nm在0%-1% 直径 Φ 厚度 4.0±0.1mm 光学面粗糙度 的最大值允许值为3.2um 表面不得有划痕 盐雾测试 在浓度为4.9-5.1%,pH值为6.5-7.2(35℃)的盐雾中,承受连续喷雾8小时,膜层应无脱落,光学性能仍符合要求。 外观 膜层不允许有损坏痕迹和破边现象。 参考波形 激埃特光电ZK850窄带内部管控指标 原材料:HWB830黑玻璃, 直径8.0mm公差要求-0.1mm,厚度:3.5mm公差要求+/-0.1mm 表面质量:双面抛光,抛光面光洁度达到60-40以上最好是40-20标准,无肉眼可视砂眼,划伤,印渍,侧面无抛光印渍,崩边小于0.1mm,倒边小于0.2mm 光谱质量:300nm~800nm T0.1%, 850nm T70%, 880nm~1100nm T85%,重点是中心波长管控T=50%处要求在827nm~836nm之间。 浮法玻璃:0.55mm玻璃公差在+/-0.05mm之间 S1面850窄带镀膜管控标准:镀膜后冷却1小时测量,中心波长在839nm~846nm之间,峰值透过大于80~90%之间,在80%以上的透过必须有5nm以上的空间(即5nm内的波长所对应的透过率应大于80%以上,以确保波长稳定后的合格率),半带宽FWHM控制:若中心波长在839nm半带宽可以放宽到22~25nm之间,若中心波长在846nm半带宽只能在19nm~21nm.截止区700nm~820nm T0.5%,880nm~1100nm T0.5% S2面分光膜面镀膜管控:只测试S1+S2双面情况下数值。 若S1面镀得峰值透过率大于90%镀完分光膜后,透过率要比只镀一面分光膜的高。即单面镀膜分光54%,S1+S2后由于不受背面4。2%的玻璃反射,将会达到56%左右。遇这种情况,要求高透过的窄带镀分光膜时透过要控制低点。比如53%(这个情况要求品保再做实验以确认实际情况) 相反的若窄带透过率只有70%左右,同样镀54%的分光膜后,将会下降个1%~3%. 品保管控:胶合前在投大片材料时,要把S1+S2双面已镀的窄带产品控制在50%~54%之间,需要考虑到分光膜面跟黑玻璃胶合后会有将5%个点的上浮。同时中心波长也会有1~3nm左右的向长波方向移动现象。 若把850多层膜面跟黑玻璃胶合透过率会下降5~15%个百分点,且不稳定。务必不能把S1面和S2面相反胶合,否则后果很难确认。 品保对双面镀膜后的中心波长管控: 中心波长:845nm~847nm之间的峰值透过率在50~55%且850nm透过率必须在50%以上。半带宽在20nm~25nm之间。 中心波长:848nm~852nm之间的峰值透过率在50~55%且850nm透过率必须在50%以上。半带宽在19nm~21nm之间。 中心波长:853nm~855nm之间的峰值透过率在50~55%且850nm透过率必须在50%以上。半带宽在20nm。 测试点一个大片至少要测试5个点,距边缘10mm处的且距离档边角20mm处测一个点,再转90度相同情况下测一次,转三次后再测度最中心区域点。若遇到第四圈特别注意,第四圈靠最外边的边缘15mm内与其它的波长和透过率将变化非常大,要特别测试。并划分出来再投料。 其余圈,圈与圈之间一般会渐变偏长或波长偏短,透过率上也只是渐变化。也有可能遇到因为镀膜操作人员放置玻璃时有斜面现象,造成某圈中的某片镜片变化非常大,要特别跟踪。 6)成品光谱曲线管控: 最高峰值透过率不得高于60%。 850nm处透过率在50~59.5%之间。(这时可以不考滤中心波长位置) 半带宽在18nm~23nm之间,若透过率低半带宽可以宽,透过率高半带宽要窄点。 截止区350nm~820nm T0.5%, 880~1100nm T0.5%(在1000-1100nm处可放宽,因为我们检测仪器有误差) 我们采用的是HWB830黑玻璃,在850nm处大约有73%左右透过,从800nm开始到880nm之间黑玻璃的光谱是呈斜线上升。 HWB830黑玻璃,通产讲T=50%位置是830nm但因为玻璃在炉内熔化时,不均匀可能部份掺杂的吸收体不一样,会导致同一大块玻璃切割后有波长长的有波长短的现象。相同厚度下有波长会在825nm,有的波长会在835nm等。 HWB830这类型的有色玻璃,会因为玻璃厚度的变化,玻璃厚0.1mm波长就会偏长,薄0.1mm波长就会偏

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