京运通TRDL维护手册.doc

一、概述 TRDL-800型单晶炉，是软轴提拉型单晶炉。在以惰性气体为基础的环境中，以石墨电阻加热器，将硅材料熔化用直拉法生长无错位单晶的设备。它可生产大规模集成电路所需的高质量单晶。并采用18”热系统，以投料为60KG为标准的基础下拉制6-8寸的单晶。其炉体构架包括：提拉系统，液压系统，真空系统，加热系统，旋转系统及水系统。在机械结构方面采用了先进的磁流体密封技术、新型翻板阀结构、拱形封头式炉盖结构及合理的主、副室提升机构。副室及炉盖都是应用浮动式提升机构，避免了因热变形及抽真空变形引起的卡死现象。单晶的提升采用的是承受170Kg的不锈钢丝编织的软轴。炉室结构为顶开式，主炉室和副炉室开启时由液压传动装置实现上移，上升到位后对称旋出，保证主机稳定可靠，并便于机动取出晶体，拆装热场系统和清理炉内各部。主炉室和副炉室之间，设有浮动式翻板阀，可在热场维持工艺温度的情况下取出晶体，更换籽晶，连续拉晶。电控制系统采用微机控制，功能全、精度高、稳定性好。埚升、埚转、晶升、晶转均采用性能稳定可靠的进口电机系统。并采用了多楔带传动，这样既可传大扭矩，又运动平稳无震动。其设备主要组成部分和参数如下： 序号 项目 参数 1 型号 JRDL-800CCD 2 名称 单晶硅炉 3 电源电压 380V 4 电源频率 50Hz 5 电源相数 3相 6 加热方式、加热元件 电阻加热、石墨加热器 7 主变压器容量 190KVA 8 主加热器最大功率 140KW 9 主加热器最高加热电压 60V 10 整机功率 ≤150KW 11 炉内最高温度 1600℃ 12 冷态炉内极限真空度 ﹤3Pa 13 冷态真空泄漏率 ﹤1Pa/5min 14 副室打开时主炉室真空度 ﹤3Pa 15 生长晶体的直径范围 6″—8″ 16 熔料重量 60kg 17 原料 多晶硅原料 18 硅单晶等径长度 ≥500㎜ 19 等径精度 ±2.5mm CCD控制系统 ±1mm 20 单晶硅生长时间/炉 ≈30h 21 主炉时尺寸 Ф800×1150㎜ 22 中炉室尺寸 Ф800×800㎜ 23 下炉室尺寸 Ф800×350㎜ 24 翻板阀通径 Ф260 25 副室内尺寸 Ф260×2220㎜ 26 两电极间距 436㎜ 27 机械泵配置 副室配用TR-24直连泵，主室配用2H—70滑阀泵 28 籽晶拉速范围 0.1—10㎜/min 29 籽晶快速 ≥160㎜/min 30 籽晶转速范围 2—40rmp 31 坩埚升速范围 0.02—1㎜/min 32 坩埚转速范围 1—30rmp 33 坩埚在炉内有效行程 ≥350㎜ 34 籽晶在副室内有效行程 1400㎜ 35 水炉系统回水点最高温度 40℃，在50℃时报警 36 主机总高 6320㎜ 37 要求厂房高度 ﹥7600㎜ 38 主机重量 ≈4000㎏ 39 主机占地面积 2800㎜×2000㎜ 40 整机占地面积 5000㎜×3000㎜ 41 防震沟要求 机械泵与主室之间要有防震沟，并且距离≥3m 42 设备相互之间距离 ≈2m 43 进水量的要求（压力、流量） 压力0.15—0.2Mpa，流量20立方米/h 44 冷却水进水口温度 ﹤25℃ 45 冷却水用量/台 ≥15立方米/h 46 氩气用量/台 3000L/h 二、基本级维护 1、真空系统： 真空系统由主炉室与副炉室真空系统组成。 (1)真空泵： 电路控制原理图： 工工作原理： 按钮按下以后C8接触器吸合，主室泵在三相电下开始启动。 启动前，检查皮带松紧程度，启动前可以松一些，启动后调 节油箱上的调节螺栓，慢慢拉紧，以减少启动力矩。检查各部 位有无松动现象，接线是否正确，电机转向是否同泵的要求 符合。检查油箱内的油位是否出于油镜的允许位置（油面 一般在油镜中间）。检查转动是否灵活，并将真空油排至油箱，以防启动时负载过大而影响使用寿命。打开冷却水阀。冬季如室温过低，应把泵加温后在启动泵，因低温时油粘度大，如突然启动，会使电机超负荷和损坏泵的零件，一般使用时室温不低于5 ℃。如油镜油位与停车时油位有显著差异时。必须用手转动泵皮带轮。使泵腔内的存油排入油箱后才可启动。在真空状态下，同时较多的油存留在泵腔内时，本泵不允许启动。 备注：对泵的维护工作必须在确保泵的空开K2手动断开的 情况下进行，以免员工对泵的贸然启动，损伤设备维修人员。 一级保养： 1、电机维护：定期检查电机工作情况，有无异响，表面 温度是否超温+40℃～+80℃。检查皮带是否有老化、裂纹等异 常情况。 2、电磁阀维护：检查器表面温度+10℃～+40℃，清理其内部 淤泥。、检查电磁阀工作是否正常,能够正常的吸合,是否 漏气,如工