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氮化硅膜的表面氧化对特性影响的研究-中国科技论文在线
第 卷第 期 半 导 体 学 报 ,
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氮化硅膜 的表面氧化对
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牛文成
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南开大 电子科 系 天律
年 月 日收到 年 月 日收到修改稿
本文提 出一种用高压 蒸煮来处理 氮化硅 摸的表 面 , 可 以抑制使用 中慢 氧化 的方
法 使用这 种处理 可 以提 高 一 的灵 敏度 、 线性 响应 范 围和 稳定性 在此基础 上 , 再用
面 , 一 到 ,
进行表 改性处理 不仅使
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