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第三部分-03-EBSD
;本章主要内容
1 电子背散射衍射（EBSD）技术简介
2 电子背散射衍射的基本原理
3 电子背散射衍射测试技术
4 电子背散射衍射技术的应用
5 电子背散射衍射分析样品的制备;1.1 EBSD探头 —— 扫描电镜附件之一
? 安装于场发射电镜 (钨灯丝电镜、电子 探针)上的EBSD系 统示意图
一般来说，EBSD 探头垂直于于电子束光轴和样品台倾斜轴安装;电镜内部EBSD探头位置示意图;;FEI Nano 400 场发射扫描电镜及HKL EBSP系统 5.0;织构的定义：多晶体中晶粒取向的择优分布。
织构与取向的区别：多与单的关系。;极 图; 镍的{001}极图;反 极 图;;2 电子背散射衍射的基本原理
·入射电子束进入样品，由于非弹性散射，在入射点附近发散，在表层几十纳米范围内为一个点源。由于其能量损失很少，电子的波长可认为基本不变（弹性散射电子）。这些电子在反向出射时与??体产生布拉格衍射，称为电子背散射衍射。;.菊池线的产生;入射电子在晶面的两侧发生衍射示意图;;典型的EBSD花样;样品表面倾转～70o后，背散射电子传出的路径更短。;（1）EBSD花样包含的晶体学信息丰富
（2）EBSD技术自动化程度高，分析速度快
（3）EBSD技术功能强大、应用快捷方便
（4）EBSD技术的应用范围正日益扩大，主要应用包括
1) 织构和取向分析
2) 晶粒形状及尺寸分布分析
3) 晶界性质分析
4) 形变与再结晶分析
5) 物相鉴定及相含量测定
6) 两相取向关系测定
等等 ?;4.1一个完整的标定过程;4.2 EBSD 扫描方式;4.3 EBSD的应用;;;;材料现代分析方法;4.3.3 晶界特性分析;材料现代分析方法;;4.4.4 相鉴定;;;· EBSD样品制备流程;5 电子背散射衍射分析样品的制备;;电解抛光;电解抛光的利弊
;· 思考问题：
1. 什么是织构？常用表达织构的方法？
2. EBSD可以获得什么信息？
3. EBSD制样要求
4. 机械抛光和电解抛光优缺点
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