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PCW (Pocess Cooling Water Sys.) 制程冷却水系统 一.系统用途：供应制程设备所需的冷却水，行能量交换,带走设备机台所产生的热量。另一用途为CDA系统采用水冷空压机时，当作冷却水源。 二.主要设备：缓冲槽、制程冷却水泵、热交换器、过滤器。 控制方式：泵浦 1、变频 2、一般 最好用变频泵浦，因为其节能效果好；延长设备的使用寿命；保证生产工艺稳定，提高产品的质量；提高电机水泵运行可靠性。 三．设计准则： 1、缓冲槽 其最小容积为停机时，管线上的制程冷却水回流至缓冲槽的水量。 2、泵浦 依业主提供之量使用点压力，选用合适的流量和扬程。 管线筛选： 1）流速 泵出口：6~10 ft/sec 泵入口：4~7 ft/sec Header: 4~8 ft/sec 立管：4~10 ft/sec 一般：5~10 ft/sec 2）管摩擦损失 每米 0.04~0.05 米 四．设计步骤和注意事项 1.缓冲槽 设置地点 制程机台有背压要求时，设于比机台低或者同层。 制程机台无背压要求时，则设置地点无限制。（背压的计算为从制程机台出口至缓冲槽间的摩擦损失及高程差）。 水源 水质要求根据业主要求而定，原则上以DI或RD水当水源，另以自来水为紧急供水。 材质 不锈钢或FRP制，且槽外需保冷。 2.泵浦 制程机台对PCW需求有一定的压力，所以PCW泵浦扬程通常都很大，选用多段直立离心式泵比较常用。 泵浦接液部分以不绣钢材质较常用。 3.热交换器 一次侧（冰水侧）的进口温度，以冰水主机选用的进出口温度为准。 二次侧（PCW侧）的进出口温度，以业主提供的制程机台PCW进出口温度为准。（若业主无法提供，则以20℃进热交换器，15℃出热交换器为设计依据） 4.过滤器 过滤精度视业主需求而定 材质为不锈钢 型式为袋滤机，非Y-strainer 附差压计 5.管线筛选 依流量、流速、管摩擦损失可筛选合适的管径。 管材通常使用不锈钢（SUS 304）,PVC SCH.80及镀锌碳钢管也有人用。 二.1.以下是H1-1F机房布置平面图和剖面图 H1-F1机房布置图 H1-F1机房布置剖面图 离心水泵的选取： Centrifugal Water Pump(离心水泵) 假设参数：Q =1700 LPM, H=40M 根据离心泵H-Q性能曲线，选取水泵 型号 NK80-400 电机 功率18.5Kw 型号 MMG180M-E