有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共13页，其中可免费阅读6页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
第卷第期影像科学与光化学年月综述光刻胶用底部抗反射涂层研究进展王宽刘敬成刘仁穆启道郑祥飞纪昌炜刘晓亚江南大学化学与材料工程学院江苏无锡苏州瑞红电子化学品有限公司江苏苏州摘要随着微电子工业的蓬勃发展光刻技术向着更高分辨率的方向迈进运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应凹缺效应提高关键尺寸均一性和图案分辨率引起了广大研究者的关注本文简要介绍了光刻胶和光刻技术底部抗反射涂层的分类基本原理刻蚀工艺以及其发展状况重点对底部抗反射涂层的必威体育精装版研究进展进行了总结尤其是碱溶型底部抗反射涂层在光刻胶中的应用
第 卷 第 期 影 像 科 学 与光 化 学
年 月
文档评论（0）