光罩与样品载盘间之真空.ppt

使用前請先確實線上預約後方可進入使用 請確實查核燈泡開啟時間與電腦之登入 請勿任意更改旋轉塗佈機之參數 請勿任意更改烤盤之溫度 如樣品為破片，請注意要加放一些破片來做水平校正與曝光，避免光罩之損壞 未用完之光阻，請放置於冰箱，以利下位使用者拿取，避免造成浪費 廢液請確實倒入廢液回收桶中 要是有任何問題，請馬上與管理者聯絡 (分機3744、3748) 黃光室使用教學講義 編輯者：林政邦 請先登入使用者帳號並填寫開始使用之時間，檢查上個使用者關燈之時間，以確 保燈泡之使用壽命。 3. 將空壓器CDA的氣閥開關轉開，確定光罩對準機的光罩載盤升起與氣槍之氣體。 2. 打開燈泡電源控制器之開關，確定風扇之運轉後，約等20秒後再將燈泡點起！ 將工作台的燈光打開並插上所需使用之插頭 (烤盤)，開啟旋轉塗佈機的馬達與烤 盤之開關，後將光阻液取出，並靜置約5分鐘，同時可先將要使用之光罩清洗乾淨 後放置於光罩對準機的光罩吸盤上，並開機等候！ 選擇適合的旋轉塗佈機真空吸頭並將之安裝上去，把已清洗完的樣品放置在旋 轉塗佈機真空吸頭上，在塗佈機面板上選擇AUTO MODE，選取適合的RECIPE， 將樣品吸真空VAC ON 後，滴上數滴光阻液後將透明壓克力蓋蓋上，按下START 開始塗佈，等完畢後，將真空解除VAC OFF後方可將樣品取下。 6. 將已塗佈完光阻的樣品放置在烤盤上軟烤，90℃ 30秒！ 7. 將樣品拿至光罩對準機進行曝光，首先使用預備的基板來做水平校正後，方可將 曝光！ 8. 待曝光後，再將樣品放置在烤盤上進行曝後烤，90℃ 30秒。 9. 把顯影液依所需之配比配好後，將樣品置入並觀察顯影之情形，待顯影完後將樣 品取出泡置於DI水中。 10. 把樣品取出並用氣槍將之吹乾，置於烤盤上進行硬烤，100℃ 60秒，後完成實驗。 11. 把使用過的光罩再清洗乾淨，將第2.3.4.點所提及之儀器關機並將所有器具歸回原 位，登出使用者帳號並填寫結束使用之時間，再次確定黃光室所有器具都已復原！ down on off off Mask Wafer vac Mask vac Ball vac Lamp L-R Con vac stop start Timer motor Mask – 光罩載盤的上升與下降 Wafer vac – 樣品載盤之真空 Mask vac – 光罩之真空 Ball vac – 樣品載盤下方半球狀腔體之真空 Lamp L-R – 燈源左右移動 Con vac – 光罩與樣品載盤間之真空 motor – 控制樣品載盤上升下降 stop – 停止曝光 start – 開始曝光 2~5 曝光時間之倒數 鍵入所需曝光時間 鍵入Con vac. 所需真空力道大小 motor內頁 鍵入step 移動大小 步進 參考移動距離 連動