Mo对多弧离子镀TiMoxN涂层组织与性能的影响.pdf

对多弧离子镀（ ， ） 涂层组织与性能的影响 Mo Ti Mo N x 曾 鹏，胡社军，谢光荣，黄拿灿，吴起白 （广东工业大学机械系，广州 510643） 摘要：采用 复合靶，用多弧离子镀技术沉积了（ ， ） 多元涂层，研究了 对该涂层组织与性能的影响。结果表明，涂 Ti/ Mo Ti Mo N Mo X 层的主要结构为（ ， ） ，其中 的固溶度可达 （质量分数），并具有较高的显微硬度、抗氧化性和低的孔隙率。在沉 Ti Mo 2 N Mo 4 .56 % 积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象，这与靶材的结构有关。 关键词：多弧离子镀；（ ， ） 涂层；组织性能；成分离析 Ti Mo N X 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） TG 174 .444 A 0254-0561 2000 08-0007-03 （ ， ） Effect of Mo on Microstructure and Properties of Ti Mo xN Coatings Deposited by Multi-Arc Ion Plating ， ， ， ， ZENG Peng HU She-jun XIE Guang-rong HUANG Na-can WU Oi-bai （ ， ， ， ） Department of Mechanicai Engineering Guangdong University of Technoiogy Guangzhou 510643 China ：（ ， ） Abstract Ti Mo XN coatings were deposited by muiti-arc ion piating using the Ti/ Mo composite cathode target . The microstructure and proper- （ ， ） ， ties of the coatings were studied . The resuits showed that the coatings consisted of Ti Mo 2 N mainiy which soiubiiity of Mo reached to 4 .56 % （ ）， wt with high micro-hardness and oXidation resistance and iow porosity . The composition demiXing phenomena of the coatings and composite target were anaiyzed . ：