基于柔性止动的斖齐斖斢惯性开关冲击可靠性强化-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 棽椀 暋 棻 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棻 暋 暋暋 暋暋暋 暋暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棻 暋 暋 暋 暋斒斸旑棶棽棸棻椃 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棸棻灢棸棻棽棾灢棻棸 基于柔性止动的斖斉斖斢惯性开关冲击可靠性强化 灣 棳 棳 棳 步 超 聂伟荣 徐安达 周织建 暋 棬 棳 棭 南京理工大学 机械工程学院 江苏 南京 棽棻棸棸椆椂 椇 棳 暎 棳 摘要 为了提高 斖斉斖斢惯性开关的冲击可靠性 提出了一种柔性止动结构 首先 利用连续接触力理论建立了止动碰撞 棳 棳 暎 棳 模型 通过 斢旈旐旛旍旈旑旊对模型进行仿真 研究开关在不同止动形式下的响应特性 接着 从空间占用和应力集中的角度对 棳 暎 棳 棳 悬臂梁和平面微弹簧两种止动形式进行讨论 设计止动结构 最后 利用 斦斨灢斕斏斍斄工艺制作开关样机 通过落锤冲击 暎 棳 系统对样机进行测试 碰撞接触力对于冲击可靠性至关重要 斢旈旐旛旍旈旑旊仿真结果表明柔性止动结构能够极大的延长碰 棳 暎 棳 棳 暎 棳 撞接触时间 从而降低接触力 同时 采用柔性止动还改善了碰撞后的弹跳现象 提高闭锁稳定性 冲击试验表明 开关 棳 棬 棭 暍 暎 累积失效分布函数符合韦布尔分布 标度参数 参考加速度 椊棽椆椂棸棸形状参数 椊椄棶棽 相比无柔性止动的斖斉斖斢开 棳 暎 暍 关 提出的柔性止动明显改善了开关的抗冲击性能 对柔性止动的建模 仿真与试验为 斖斉斖斢惯性开关的抗冲击设计 提供了有益参考暎 椇 椈 椈 椈 关 键 词 微机电系统 冲击可靠性 柔性止动 接触力 暋 暋 中图 类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斣斎椃棸棾暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椃棽椀棸棻棶棸棻棽棾 斢旇旓斻旊旘斿旍旈斸斺旈旍旈旚斿旑旇斸旑斻斿旐斿旑旚斺 旀旍斿旞旈斺旍斿旙旚旓 旀旓旘斖斉斖斢旈旑斿旘旚旈斸旍旙旝旈旚斻旇 旟 旟 旔 灣 棳 棳 棳 斅斦斆旇斸旓 斘斏斉斪斿旈灢旘旓旑 斬斦斄旑灢斾斸 斱斎斚斦斱旇旈灢旈斸旑