[信息与通信]SEM_Scanning_Electron_Microscope.pdf

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2018-11-25 发布于浙江
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扫描电子显微学 SEM的昨天和今天 Past Present 真空机械泵(Rotary Pump) 油扩散泵(Oil Diffusion Pump) 离子泵(Ion Getter Pump) 分子泵(Molecular Pump) 1 torr = 133 pascal = 1.33 mbar = 1mmHg 电子腔各种电子发射源的各项性能比较 Emitter Type thermionic thermionic cold FE Schottky FE Cathode material W LaB6 W(310) ZrO/W (100) Operating temperature (K) 2800 1900 300 1800 Cathode radius (nm) 60000 10000 +100 =1000 Effective source radius (nm) 15000 5000 2.5 15 Emission current density (A/cm2) 3 30 17000 5300 Total emission current (µA) 200 80 5 200 Normalized brightness (A/cm2.sr.kV) 1.104 1.105 2.107 1.107 Maximum probe current (nA) 1000 1000 0.2 10 Energy spread at the cathode (eV) 0.59 0.40 0.26 0.31 Energy spread at the gun exit (eV) 1.5 - 2.5 1.3 - 2.5 0.3 - 0.7 0.35 - 0.7 Beam noise (%) 1 1 5 - 10 1 Emission current drift (%/h) 0.1 0.2 5 0.5 Operating vacuum (hPa) =1.10-5 =1.10-6 =1.10-10 =1.10-8 Cathode life (h) 200 1000 2000 2000 Sensitivity to external influence minimal minimal high low 聚焦能力的差距导致亮度 Illumination system of a typical TEM, 的明显差别 including a thermionic triode gun and two condenser lenses (磁)透镜 SEM: 原理和基本结构 SEM: 衬度形成模式 SE BSE 1μm SEM: 元