[信息与通信]SOI工艺技术.pdf

器件和电路 SOI器件和电路 SOI器器件件和和电电路路 器件和电路 SSOOII器件和电路 SOI器器件件和和电电路路 SOI SSOOII 制造工艺 制造工艺 制制造造工工艺艺 制造工艺 制造工艺 制制造造工工艺艺 主要内容 主要内容 主主要要内内容容 集成电路制备工艺 集成电路制备工艺 �集集成成电电路路制制备备工工艺艺 的挑战与机遇 的挑战与机遇 �SOI的的挑挑战战与与机机遇遇 SOI SSOOII 器件和电路制备技术 器件和电路制备技术 �SOI器器件件和和电电路路制制备备技技术术 SOI SSOOII 几种新型 电路制备技术 几种新型SOI电路制备技术 �几几种种新新型型SOI电电路路制制备备技技术术 SSOOII 集成电路设计与制造的主要流程框架 集成电路设计与制造的主要流程框架 �集集成成电电路路设设计计与与制制造造的的主主要要流流程程框框架架 系 统 需 求 设计 掩膜版 芯片制 芯片检测 封装 测试 造过程 单晶、外 延材料 制造业 —制造业— —制制造造业业— 芯片制造过程 —— —— 芯片制造过程 芯芯片片制制造造过过程程 硅片 由氧化、淀积、离子注入或蒸 发形成新的薄膜或膜层 曝 光 用掩膜版 重复 20-30次 20-30 2200--3300 刻 蚀 测试和封装