类神经网路於半导体平坦化制程预测监控功能之研究.ppt

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2018-02-15 发布于江西
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类神经网路於半导体平坦化制程预测监控功能之研究.ppt

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类神经网路於半导体平坦化制程预测监控功能之研究

類神經網路於半導體平坦化製程預測監控功能之研究指導老師:陳沛仲學生:李佶峰游哲軒 ;摘要研究目的網路建構分析結果與效益評估結論參考文獻 ;摘要;研究目的;本研究之研究目的之優點;網路建構;Input的部分皆是Run-in-Run蒐集的實際參數output皆為模擬數據;本研究所採用的學習樣本資料，是來自生產線上即時數據收集與歷史製程資料記錄，學習樣本資料取生產線之製程與產品參數共2500組，隨機取300組輸入，以建構類神經網路模型中訓練學習。;分析結果與效益評估;(一)尋找NN1的隱藏層數目;(二)尋找NN1的學習速率;(三)尋找NN1的學習次數;(四)尋找NN1的最佳參數組合結果;(五)尋找NN2的隱藏層數目;(六)尋找NN2的學習速率;(七)尋找NN2的學習次數;(八)尋找NN2的最佳參數組合結果;(九)尋找NN3的隱藏層數目;(十)尋找NN3的學習速率;(十一)尋找NN3的學習次數;(十二) 尋找NN3的???佳參數組合結果;利用T檢定分析模擬結果;;;;;;結論;參考文獻;