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目錄
目錄 ii
圖 目 錄 iv
表目 錄 v
第一章 緒論 6
第二章 文獻回顧 2
2.1 前人文獻回顧 2
2.1 鑽石線鋸 6
第三章 研究方法 18
3.1實驗流程 18
第四章 市場評估分析 31
4.1晶圓市場評估分析 31
第五章 結論與未來研究討論 34
5.1 結論 34
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圖 目 錄
圖 2-1內圓鋸鋸片鋸切晶棒示意圖 4
圖 2-2固定磨粒與游離磨粒鋸切方法 5
圖 2-3 以複視線鋸方法鋸切晶棒 6
圖 2-4硬焊 電鍍 與樹脂塗覆方式之鑽石突出面示意圖11
圖 2-5 旋轉工作物的工作方式 12
圖 2-6 旋轉工作物的工作方式 13
圖 2-7 鑽石線鋸在市場上的運用其中電子業佔了 43.4% 13
圖 2-8 游離線鋸電鍍線鋸與樹脂線鋸之比較與其切割示意圖 14
圖 2-9國外電鍍線鋸量廠機與一般線鋸之比較 15
圖 2-10國外線鋸產品簡介 16
圖 2-11樹脂鑽石線鋸圖 16
圖 2-12電鍍鑽石線鋸圖 16
圖 2-13硬焊鑽石線鋸圖 17
圖 2-14硬焊鑽石線鋸圖 17
圖 3-1 樹脂鑽石線鋸示意圖 24
圖 3-2 電鍍鑽石線鋸示意圖 25
圖 3-3 連續式高壓放電電焊鑽石線鋸示意圖 25
圖 3-4 未來可定製線徑方法與規格 26
圖 3-5 游離磨料與固定磨料比較圖 27
圖 3-6 藍寶石晶圓晶棒 27
圖 3-7 矽晶圓晶棒 28
圖 3-8 鑽石線鋸切割出來的單晶矽 29
圖 3-9新型方法製做鑽石線 30
圖 4-1 全球太陽能電池產能預估圖 31
圖 4-2 全球LED 產業預估圖 32
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表目 錄
表 2-1 取自旭金鋼石網站 10
表 3-1 素線尺寸(mm)-粒度(μm)(成品直徑mm) 22
表 3-2捷斯奧的機台參數 23
表 3-3 鑽石線種類 25
表 3-4 未來鑽石線鋸鋸切晶棒應用之標準與應用範圍 26
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第一章 緒論
在高科技行業的製程中,從過去的一般加工方式,也慢慢的演進成
特殊的加工方式,就本研究來說最早鋸切晶圓(Ingot)的方式是使用圓鋸
片,後來慢慢演進成拉鋸,再來是排鋸。然而現在最廣泛使用的確是鑽
石線鋸 (diamond wire saw) ,因為它能顧及圓鋸的單一方向鋸切之優點
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