[]6_纳米加工—电子束曝光N.pdf

  1. 1、本文档共52页,可阅读全部内容。
  2. 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
[]6_纳米加工—电子束曝光N

MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII 纳 米 加 工 —— 电子束曝光 王海容 whairong@mail.xjtu.edu.cn 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, XJTU MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII 纳米材料 纳米材料的定义和分类 纳米材料结构 纳米材料的特性 纳米材料制备 纳米材料应用 纳米加工 电子束曝光 聚焦离子束加工技术 纳米测量 电子束曝光 纳米超精密加工 透射电子显微镜 EBL 纳米压印 扫描电子显微镜 扫描隧道显微镜 (EBM) X射线衍射分析 原子力显微镜 扫描探针显微镜 … … 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII 纳米技术: 依赖于纳米尺度的功能结构 纳米技术: 依赖于纳米尺度的功能结构 与器件,实现功能结构纳米化的基础是先 与器件,实现功能结构纳米化的基础是先 进的纳米加工技术。 进的纳米加工技术。 纳米加工技术: 从结构的形成方式可分为两种: 从结构的形成方式可分为两种: 纳米加工技术: Top-down (自上而下)和Bottom-up (自底层制 Top-down (自上而下)和Bottom-up (自底层制 造)。 造)。 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII Top-Down方法:指从大的物体上去除材料形成需要的 纳米结构; Bottom-up方法:通过物理、化学以及生物等作用,把 小的物体(如原子、分子)拼装形成复杂的结构和系 统。 纳米平面工艺属于Top-Down 的纳米加工方法,而分 子自组装、STM进行的原子搬迁属于Bottom-up方法。 西安交通大学精密工程研究所 I

您可能关注的文档

文档评论(0)

qiwqpu54 + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档