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[]6_纳米加工—电子束曝光N
MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII
纳 米 加 工
—— 电子束曝光
王海容
whairong@mail.xjtu.edu.cn
西安交通大学精密工程研究所
Institute of Precision Engineering, XJTU
MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII
纳米材料
纳米材料的定义和分类
纳米材料结构
纳米材料的特性
纳米材料制备
纳米材料应用
纳米加工
电子束曝光
聚焦离子束加工技术 纳米测量
电子束曝光
纳米超精密加工 透射电子显微镜
EBL
纳米压印 扫描电子显微镜
扫描隧道显微镜 (EBM) X射线衍射分析
原子力显微镜
扫描探针显微镜
…
…
西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University
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纳米技术: 依赖于纳米尺度的功能结构
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与器件,实现功能结构纳米化的基础是先
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进的纳米加工技术。
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纳米加工技术:
从结构的形成方式可分为两种:
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纳米加工技术:
Top-down (自上而下)和Bottom-up (自底层制
Top-down (自上而下)和Bottom-up (自底层制
造)。
造)。
西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University
MEMS与纳米技术课程之纳米技术VII
Top-Down方法:指从大的物体上去除材料形成需要的
纳米结构;
Bottom-up方法:通过物理、化学以及生物等作用,把
小的物体(如原子、分子)拼装形成复杂的结构和系
统。
纳米平面工艺属于Top-Down 的纳米加工方法,而分
子自组装、STM进行的原子搬迁属于Bottom-up方法。
西安交通大学精密工程研究所 I
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