[工程科技]单晶炉设备工艺培训.ppt

单晶硅设备培训 目录 1. 硅料的提炼 2.单晶硅片工艺流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分 硅的提炼： 硅，Si,地球上含硅的东西多的很好像90%以上都是晶硅的，也就是单晶硅。 太阳能级别的硅纯度6N以上就可以了。 开始是石头，（石头都含硅），把石头加热，变成液态，在加热变成气态，把 气体通过一个密封的大箱子，箱子里有N多的子晶加热，两头用石墨夹住的，气体 通过这个箱子，子晶会把气体中的一种吸符到子晶上，子晶慢慢就变粗了，因为 是气体变固体，所以很慢，一个月左右，箱子里有就很多长长的原生多晶硅。 1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分 目录 单晶硅片工艺流程： 1.酸洗：使用稀硝酸HNO3,进行清洗，去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅。 2.清洗：清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。 3.单晶硅料烘干：去除水分。 4.挑料：区分P型，N型硅料。 5.配料：对拉晶的硅料型号进行匹配。 6.单晶炉拉晶： 7.硅棒检测：检查有无位错，棱线断等现象。 8.开断：将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。 9.包装：将开断后的单晶硅棒进行包装，送至下一道工序 10.磨圆：将单晶硅棒四个直角进行磨圆。 11.多线切割：瑞士的264，265。日本的PV800,MDM442DM设备进行切割。 0.33mm。 线切割原理： 12.清洗： 13.单晶硅片检测： 1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分 目录 目录 1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分 目录 1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分 单晶炉种类： 单晶炉，目前可以分为：小松炉；642炉；70炉；莱宝炉；80炉；85炉；90炉；95炉；97炉。 目前现在国内普遍使用的单晶炉型号为80炉；85炉；90炉。 各个单晶炉的工作原理相同，都是根据4的速度进行晶体直径控制及可控硅整流提供50V直流电源，进行加热。 小松炉；642炉；70炉，电气控制部分为按钮式；莱宝炉产生后，以后的单晶炉都采用触摸屏式。 目录 1.Si的介绍 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分 目录 1.Si的介绍 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分 1.提拉头： 提拉头：晶升电机，晶转电机，离合器，钢丝绳，光感 限位，磁流体等部件组成。 作用 ：在拉晶过程中，提供晶升与晶转速度，通过PCC控 制模块 的开关量变化，来控制晶体直径。 2.副室，翻板阀，主室： 翻板阀作用：在拉晶过程中，对于提纯，拉ABCD段时，用 于隔离主室与副室，使主室温度，压力一定。 副室作用：拉晶过程中，已拉出的单晶棒存放的位置。 主室作用：容纳加热器，石英坩埚，导流罩等，用于硅料 融化的容器。 炉盖： CCD测径仪 观察窗 水路接头 整体锻造，超低碳不锈钢法兰 主室内部： 籽晶夹 籽晶 石英坩埚 加热器 单晶棒 石棉碳粘 三瓣埚  目录： 1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3. 单晶炉展示 4. 产品展示 5. 单晶炉种类 6. 单晶炉结构 7. 各个部件的作用 8. 单晶工艺流程 9. 晶升， 埚升介绍 10.加热部分 单晶炉工艺流程： 准备作业 热态检漏 取单晶和籽晶 石墨件取出