[材料科学]真空技术.pdf

固体表面物理化学 真空技术 2004/2/20 北京大学化学北京大学化学与与分子工程学院分子工程学院 －－ 表面与材料小组表面与材料小组 固体表面物理化学 真 空 参考书 1. J. M. Lafferty (Editor), Foundations of Vacuum Science and Technology, John Wiley Sons, 1998. 2. G. L. Weissler and R. W. Carlson, Vacuum Physics and Technology, 中译本，国强等译 《真空物理和技术》，原子能 Academic Press, 1979. ( , 出版社，1990) 3. A. Roth, Vacuum Technology, North-Holland, 1976. (中译本，《真空技 术》，机械工业出版社，1980) 4. D. M. Hoffman, B. Singh and J. T. Thomas, III, Handbook of Vacuum and Technology, Academic Press, 1998. 5. 华中一，《真空实验技术》，上海科学技术出版社，1986。 6. 高本辉，崔素言，《真空物理》，科学出版社，1983。 2004/2/20 北京大学化学北京大学化学与与分子工程学院分子工程学院 －－ 表面与材料小组表面与材料小组 固体表面物理化学 真空定义 ，拉丁文的意思是 空的 ，但通常真空并非是指没有物质的空 Vacuum “ ” 间，在人类能够实现的最高的真空条件下，每立方厘米的真空空间仍 然含有几百个分子。 美国真空学会定义：真空指的是充有低于大气压压强的气体的给定空 间，即分子密度小于 · 19 3 。 2.5 10 molecules/cm 真空单位： » » 5 1 atm 760 Torr 1 bar = 1000 mbar = 10 Pa 1 Torr » 1.33 mbar = 133 Pa 2004/2/20 北京大学化学北京大学化学与与分子工程学院分子工程学院 －－ 表面与材料小组表面与材料小组 固体表面物理化学 几个基本概念 分子密度： 单位容积内的平均分子数， （ 3 ）。 n molecules/cm 平均自由程： 一个分子在其所处的环境中与其它分子发生两次 连续碰撞之间所走过的平均距离，l. 单分子层形成的时间 指一个新解离的表面被一个分子厚度的 : 气体所覆盖的时间 t 。即s ＝ t， , F 1 L -6 = 10 Torr sec = P(T