2012年六月第一周设备使用率统计表(6.1—6.7).ppt

2012年6月第一周 统计日期：2012年6月1日至6月7日 作成：刘刚 设备使用率统计表（统计时间2012年6月1日-6月7日） （二） 完 作成：2012年6月11日 * 设备使用率统计表（统计时间2012年6月1日-6月7日） （一） 100.00 0.00 未使用 168 0 湿氧双管退火炉(168h) 20.24 79.76 2012.6.7停水停机20h 无片停机14h 34 134 1#金属蒸镀机（168h） 100.00 0.00 未使用 168 0 2# ICP （168h） 100.00 0.00 未使用 168 0 单管退火炉（168h） 100.00 0.00 未使用 168 0 1# ICP （168h） 28.57 71.43 2012.6.7停水停机20h 无片停机28h 48 120 双管退火炉（168h） 92.86 7.14 2012.6.7-6.8停水停机32h 无片停机124h 156 12 膜厚仪（168h） 92.26 7.74 2012.6.7停水停机20h 无片停机135h 155 13 键合机 （168h） 42.86 57.14 2012.6.7-6.8停水停机32h 无片停机40h 72 96 PECVD（168h） 97.62 2.83 2012.6.7停水停机20h 无片停机144h 164 4 富临蒸镀机（168h） 99.40 0.60 2012.6.7停水停机20h 无片停机147h 167 1 分光光度计（168h） 38.69 61.31 2012.6.7停水停机20h 无片停机45h 65 103 钛铝蒸镀机（168h） 92.56 7.44 2012.6.7停水停机20h 无片停机135.5h 155.5 12.5 手动探针台（168h） 95.24 4.76 2012.6.7停水停机20h 无片停机140h 160 8 ITO蒸镀机（168h） 92.56 7.44 2012.6.7停水停机20h 无片停机135.5h 155.5 12.5 台阶仪（168h） 89.29 10.71 2012.6.7停水停机20h 无片停机130h 150 18 4#金属蒸镀机（168h） 停机率(%) 使用率（%） 停机原因 总停机时间（h） 总工作时间(h) 设备名称 停机率(%) 使用率（%） 停机原因 总停机时间（h） 总工作时间(h) 设备名称 34.52 65.48 2012.6.7停水停机20h 无片停机38h 58 110 后烘烤箱（168h） 100.00 0.00 未使用 168 0 显微镜（带CCD）（168h） 41.67 58.33 2012.6.7停水停机20h 无片停机50h 70 98 显微镜（168h） 78.07 21.93 2012.6.7停水停机20h 无片停机111.16h 131.16 36.84 烘箱（下层）（168h） 51.19 48.81 2012.6.7停水停机20h 无片停机66h 86 82 甩干机（168h） 71.20 28.80 2012.6.7停水停机20h 无片停机99.61 119.61 48.39 烘箱（上层）（168h） 54.76 45.24 2012.6.7停水停机20h 无片停机72h 92 76 显影化学槽（168h） 99.86 0.14 2012.6.7停水停机20h 无片停机147.76h 167.76 0.24 等离子去胶机（168h） 95.83 4.17 2012.6.7停水停机20h 无片停机141h 161 7 科毅光刻机 （168h） 76.42 23.58 2012.6.7停水停机20h 无片停机108.39h 128.39 39.61 铝刻蚀化学台（168h） 28.57 71.43 2012.6.7停水停机20h 无片停机28h 48 120 SUSS光刻机（168h） 76.22 23.78 2012.6.7停水停机20h 无片停机108.05h 128.05 39.95 金刻蚀化学台（168h） 36.31 63.69 2012.6.7停水停机20h 无片停机41h 61 107 前烘烤箱（168h） 74.34 25.66 2012.6.7停水停机20h 无片停机104.89h 124.89 43.11 正金蒸镀前化学槽（168h） 28.57 71.43 2012.6.6 1#更换轴承停机1.5h 2012.6.7停水停机20h 无片停机56.5h 78 120 甩胶机（168h） 74.58 25