软性CIGS太阳能电池.PDF

Roll to Roll 高效率真空溅镀 软性CIGS 太阳能电池 CIGS 薄膜太阳能电池： 真空生产吸收层的技术中，相对于共蒸镀制 程，溅镀制程在大面积以及均匀度的技术上较为 由铜(Cu)、铟(In)、镓(Ga)、硒(Se)四种原料组 成熟。因此本文以全溅镀制程举例，说明软性 成的CIGS 薄膜太阳能电池吸收光的波长范围广， CIGS 太阳能电池生产流程。 因此太阳光利用效果佳，加上生产时能源消耗为 传统硅基太阳能的一半，业界视为极具市场潜力 真空生产吸收层技术比较表 的产品，包含台积电、三星等国际大厂都陆续投 特性 共蒸镀 溅镀 入CIGS 薄膜太阳能电池的开发。 生产稳定度 高 中 大面积生产 有限 可行 软性CIGS 太阳能电池优点： 膜厚均匀度 中 高 产量 低 高 1. 达15~20%的太阳光转换率 设备成本 高 中 2. 吸收400~1200nm 的光利用率高 【CIGS 太阳能电池生产流程】 3. 可Roll to Roll 高效率生产 1. 溅镀电极-Mo：作为下电极 4. 发电效能不衰减稳定度高  雷射划线切割电极-Mo 5. 膜层厚度薄制造成本低 2. 溅镀光吸收层-CIGS：吸收太阳光 6. 轻薄可挠曲且不易碎应用广泛 3. 溅镀缓冲层- ZnS ：缓冲及协助电子传导 太阳能电池技术比较表  机械划线切割吸收层与缓冲层 4. 溅镀纯氧化锌层i-ZnO ：防止组件效能衰弱 特性 有机 软性CIGS 硅基 5. 溅镀透明导电层-AZO ：作为上电极及让光穿 技 转换效率 ~10% 15~20% 10~25% 透到吸收层 术 制程技术 涂布 镀膜 长晶  机械划线切割氧化锌层 6. 溅镀抗反射层MgF ：减少反射提升光吸收量 2 成本 低 中 高 7. 溅镀金属导线Ni/Al 弯折程度 可挠曲 可挠曲 无 特 易碎程度 不易碎 不易碎 易碎 性 厚度 薄 薄 厚 重量 轻 轻 重 5.75~8.25 μm 软性CIGS 太阳能电池生产流程