制程冷却水系统耗电量-台北科技大学.PDF

高科技廠房耗能分析 軟體開發 Development of a High Tech. Fab Energy Simulation software 主講人：胡石政 教授 林廸 博士 大綱 ▪ 緒論 ▪ 數學方法 ▪ 案例介紹 ▪ 結果與討論 ▪ 軟體介紹 ▪ 結論 2 緣起 ▪ 能源局為配合經濟部「全民節電行動」,訂定產業能源大用戶節電目標，未來5年平 均每年節電率為1% ，節電率未達目標者，應提出報告及改善計畫予經濟部核備並 執行(能源局官網.tw 發布日期：2014-06-19) 。電腦周邊及視 聽電子產品製造業(即所謂高科技產業)為高耗能產業, 能源局統計資料顯示，2013 年全國電力消費為2,452億度，電腦周邊及視聽電子產品製造業電力消費為421億 度，佔全國的17.16% 。高科技廠房(high tech fabrication plant, 簡稱 Fab) 未來勢 必會被納入能源大用戶，期達節電目標。 ▪ 一般建築耗能分析軟體，其所處理 2013年電力消費(部門別) 之空調系統為外氣與回風混合再經 由空調箱處理之集中式空調系統， 難處理需要大量外氣引入之Fab空 住宅部門 調架構,亦沒有包含如，製程冷卻水 17.80% 系統、壓縮乾空氣系統、氮氣系統、 其他 工業部門 36.64% 真空系統、純水系統以及排氣系統等 服務業部門 53.79% 之廠務系統用電。 19.22% 農業部門 1.12% 電腦週邊及視聽 運輸部門 能源部門自用 電子產品製造業 3 0.52% 7.54% 17.16% 緣起 ▪ 台北科技大學潔淨技術研發中心在經濟部技術處及科技部支持下開發Fab專用之耗 能模擬軟體(Fab Energy Simulation, FES)作為Fab 節能案設計及評估用。FES具以 下之用途及特點: ▪ 用途: ▪ 可使廠務工程師及ESCO廠商快速建立整廠及各廠務系統之逐月及全年之耗能資料，作為 節能成效之計算基準(Baseline) 。 ▪ 可使設備工程師了解各機台使用UTILITY之耗能狀況,並從而推估生產成本及建立各機台節 能之依據 ▪ 可作為生產相同(或相似)產品各廠間相互比較系統耗能狀況之依據及作為未來建廠系統設 計的依據。 ▪ 具有匯入及匯出功能，可以匯入外氣資料、廠務機台、水泵等各項參數資料，匯出功能則 包含計算結果、圖表及MAU各元件出口空氣狀態表，另外也可用以分析與評估多種節能 設計之成效。 ▪ 使用者可自行排列MAU內元件與選擇各元件的出口控制方式，更為符合實際情況。 4 緒論-研究背景及動機 ▪ 半導體廠的能源消耗直接影響其製造成本也間接造成環境的污染，從1996年開始 SEMATECH聯盟的會員公司與設備供應商已執行許多節能專案與調查。 ▪ 過去半導體廠的廠務設備消耗一直被忽視，因為其費用在生產晶圓的總成本中佔的 比例很低，但正因如此廠務設備成為節能改善工作最大的障礙