扫描电子显微镜原理及其在材料分析应用浅析.PDF

扫描电子显微镜原理 及其在材料分析应用浅析 李世昌 lsc@ 梧州三和新材料科技有限公司 广西·中国 2003 年4 月 扫描电子显微镜原理及其在材料分析应用浅析 目 录 摘要 关键字 第一章 前言 1.1 显微镜的分类 1.2 扫描电子显微镜的性能及其基本分析技术 1.3 扫描电子显微镜近况及其展望 1.3.1 商品生产扫描电子显微镜的近况 1.3.2 展望 第二章 扫描电子显微镜原理 2.1 电子与物质的相互作用 2.1.1 入射电子在固体物之中的运动 2.1.2 入射电子和原子核的相互作用 2.1.3 入射电子与原子中核外电子的相互作用 2.1.4 入射电子和晶格的相互作用 2.1.5 入射电子与晶体中电子云的相互作用 2.1.6 电子信息的类型 2.2 扫描电子显微镜的工作原理和仪器结构 2.2.1 原理方框图 2.2.2 真空系统 2.2.3 电子枪 2.2.4 透镜系统 2.2.5 样品室 第三章 扫描电子显微镜在材料分析中的应用 3.1 试样制备技术 3.1.1 块状试样制备 3.1.2 粉末状试样制备 3.1.3 溶液试样制备 3.1.4 蒸金 3.2 质扫描电子像的获得 3.2.1 前提 3.2.2 图像所要求的最低分辨率的确定 3.2.3 具体控制参数的选择 3.2.4 体会 3.3 图像解释 3.4 特征X 射线的检测 3.5 应用实例 3.5.1 样品 3.5.2 实验方法 3.5.3 结果与讨论 第四章 结束语 参考文献 摘 要： 扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析工具，可以对各种材料进行多 种形式的表面的观察与分析。它具有分辨率高、景深长、成像富有立体感等优点。 利用扫描电镜的图像研究法分析显微结构，其内容丰富、方法直观。随着现代生 活对新型材料的需求不断增长，扫描电镜测试技术在新型材料学科领域中的应用 也日益广 。 关键字：扫描电镜、显微结构、测试技术 Abstract: As an effective tool of analyzing microstructure, Scanning Electron Microscope (SEM) can be used to observe and analyze the surface of various materials. It owns the advantages of high Resolution、deep scope 、excellent 3D effect, etc. The obtained information is abundant by using the Images －Analysis of SEM to observe the microstructure. As the requirement of advanced materials increases, the application of SEM testing technology in advanced materials field is more and more important. Keywords: SEM、microstructure 、testing technology 第一章 前 言 1.1 显微镜的分类[2] 为了了解和研究自然现象，通常开始是用人的肉眼进行观察的。但是，人肉 眼的观察能力是有限的，它能分辨的最小距离只能达到0.2mm 左右。为了把人的 视力范围扩大到微观领域，就必须借助于一种观察仪器，把微观形貌放大几十倍 到几十万倍，以适应人眼的分辨能力。我们把这类仪器称为显微镜。 随着科学技术的进步，显微镜的类型和用途也不断的更新和发展。但不管哪 种类型的显微镜，尽管所依据的物理基础不同，但其基本工作原