1.1 导电型号测试.pptVIP

第一章 硅单晶常规电学参数的测试 1.1 半导体硅单晶导电型号的测量 1、P型半导体： 2、N型半导体： 二、导电类型的测量方法 2、温差电动势、及电流的产生： （a）N型半导体 （b）P型半导体 3、导电类型的判定 （1）检流计指针偏转（STY-1） STY-3----热探笔及整流导电类型测试方法设计的导电类型鉴别仪 （2）液晶显示屏显示N或P（STY-2) STY-2仪器的优点 1、采用第四代集成电路设计、生产。 2、自动恒温的热探笔。 3、由液晶器件直接发显示N、P型。 4、操作方便、测试直观、快速、准确。 STY-2型冷热探笔法测试仪器 2）使用方法 1）插好背板上的电源线，并与～220V插座相接；将热笔、冷笔与面板上4芯、3芯插座相接。 2）打开仪器面板左下角的电源开关，电源指示灯及热笔加热灯亮。10分钟左右热笔达到工作温度时，保温（绿）灯亮，即可进行型号测量。热探笔随后自动进入保温→加热→保温→…循环，温度保持在40-60℃（国标及国际标准规定的温度）。 3）先将热笔在被测单晶面上放稳，后将冷笔点压在单晶上，液晶显示器即显示型号（N或P）。 4）测量电阻率较高的单晶时，请将N型调零电位器P型调零电位器调近临界点（逆时针旋转），以便提高仪器的测量灵敏度。 5）在P型、N型显示不稳定时，以多次能重复的测量结果为准。 6）测量时握笔的手不要与被测单晶接触，以免人体感应影响测量结果。 三、冷热探笔法的测准因素分析 1、测量范围：1000Ω.cm以下。 2、表面要求：无反型层、无氧化层，清洁无污；对表面进行喷砂或研磨处理；（不要用未处理的表面或腐蚀、抛光的表面) 3、用冷热探笔测量时，保证热探笔不能太高（40-60℃），并不断交换冷热探笔的位置。 4、避免电磁场的干扰。 * * 多数载流子为空穴，少数载流子为自由电子。 多数载流子为电子，少数载流子为空穴。 一、根据硅单晶参杂的元素不同分类： 温差电动势法 整流效应法 冷热探笔法 冷探针法 三探针法 四探针法 单探针点接触整流法 三、冷热探笔法 利用冷热探笔与半导体样品接触，在与冷热探笔接触点之间产生电势差，如两根探笔之间接上检流计构成回路，产生一温差电流，根据温差电流的方向判断样品的导电类型。 冷热探笔法测导电类型 1、原理：如图所示 E E 指针向正方偏转被测样品为P型; 指针向负方向偏转被测样品为N型。 显示方式： 冷探笔 热探笔 电源开关 N型旋钮 P型旋钮 加热指示灯 保温指示灯 1）结构 *