24对棒还原炉高压启动技术方案-.docVIP

  1. 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
  2. 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
24对棒还原炉高压启动技术方案-

多晶硅还原炉高压启动系统 4 高压启动技术方案 4.1 概述 本项目还原炉数量为20台,采用硅芯高压击穿启动方案,20台还原炉共用2套高压启动系统,每台高压系统各自管理10台还原炉,互为备用。2套PLC系统控制20台还原炉的电气设备,各自管理10台炉的电源设备,互为备用。 还原炉总硅芯数为24对, 4对硅芯组成一个组,共分为6个组,每个调功柜控制2组,共3个调功柜。 高压击穿后转换到启动维持电源继续加热,待硅芯温度升到一定程度,再转换到还原电源工作。 4.2 基本控制原理 高压启动电源提供0~12kV高压击穿硅芯。 硅芯击穿后恒定电流加热数秒钟,切换到启动维持电源继续加热,维持电源提供0~4KV中压加热硅芯,进一步提高硅芯温度。 维持电源加热数分钟后,交由还原电源工作,进入正式生产状态。基本控制原理如图4-2所示。 图4-2 基本控制原理图 4.3高压启动原理 硅芯冷态电阻率很大,采用高压击穿、中压维持加热的原理启动硅芯。 高压启动电源系统由4台高压启动电源柜、6台启动维持电源柜组成,形成高压启动总线,可依次启动1~N台还原炉。1台还原炉配置6台切换隔离柜。 4台启动电源分别击穿每组的1#、2#、3#、4#硅芯。 6台维持电源分别加热还原炉6组硅芯。 图4-3 高压启动总线联络图 4.3.1击穿方式 4台高压启动电源,同时或分时投入击穿4对硅芯。 4.3.2启动步骤 高压启动电源全部击穿第一组的4对硅芯后,交由1#启动维持电源加热。 高压击穿电源全部击穿第二的4对硅芯后,交由2#启动维持电源加热。 高压击穿电源全部击穿第三组的4对硅芯后,交由3#启动维持电源加热。 高压击穿电源全部击穿第四组的4对硅芯后,交由4#启动维持电源加热。 高压击穿电源全部击穿第五组的4对硅芯后,交由5#启动维持电源加热。 高压击穿电源全部击穿第六组的4对硅芯后,交由6#启动维持电源加热。 6台启动维持电源加热六组24对硅芯,数分钟后停止工作,同时断开隔离切换柜的六组接触器,合隔离柜隔离开关,交由还原电源系统工作。 一台还原炉启动完毕,可继续启动其他还原炉,步骤同上。 Tel:0838-2900585;Fax:0838-2900985 第3页

文档评论(0)

asd522513656 + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档