纳流控芯片的微加工技术及其应用3.PDFVIP

第 20 卷 第 12 期 化 　学 　进 　展 Vol . 20 No . 12 2008 年 12 月 PROGRESS IN CHEMISTRY 　Dec . , 2008 纳流控芯片的微加工技术及其应用 何巧红 　陈　双 (浙江大学化学系 微分析系统研究所 　杭州 310058) 摘 　要 　纳流控学和纳流控芯片应用于化学和生化分析的研究近年来取得了长足的进展 。纳流控的基 础和应用研究以纳流控芯片的研制为基础 ,而纳流控芯片的制备需依靠微纳加工技术 。本文着重介绍 目前 已经建立的纳流控芯片加工技术 ,包括掩膜加工法 、牺牲层技术 、模具加工法 、化学机械抛光法 、机械拉伸技 术以及其他的加工技术 。此外 ,还简单介绍了纳流控芯片在试样预处理以及生化分析中的应用 。 关键词 　纳流控芯片 　微加工 　应用 ( ) 中图分类号 : O65 ; O6529 　文献标识码 : A 　文章编号 : 1005281X 2008 Fabricating Technologies of Nanofluidic Chips and Their Applications He Qiaohong 　Chen S huang ( Institute of Microanalytical Systems , Department of Chemistry , Zhej iang University ,Hangzhou 310058 , China) Abstract 　The studies on the fundamental nanofluidics and various applications of nanofluidic chip s in chemical and biochemical analysis have achieved fast progress in recent years. Both fundamental and applied researches on nanofluidics need nanofluidic chip s that can be fabricated by means of micro and nanofabrication technologies. This review introduces the developed techniques for fabrication of nanofluidic chip s , including mask machining method , sacrificial layer technology ,moldmachining method ,chemicalmechanical polishing method ,mechanical drawing method , and other fabrication technologies. The applications of nanofluidic chip s in sample pretreatment and biochemical analysis are reviewed . Key words 　nanofluidic chip s ; fabrication ; applications 些基础应用研究[6 —8 ] ;此外 ,从微流控进入纳流控分 1 　引言 析 ,试样剂消耗量进一