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芯片的犈犗犁失效分析及焊接工艺优化
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
29 2 犞狅犾.29 犖狅.2
年 月 ,
2008 2 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犉犲犫.2008
芯片的犈犗犛失效分析及焊接工艺优化
,
1 1 2 1
吴顶和 沈 萌 邵雪峰 俞宏坤
( 复旦大学材料科学系,上海 )
1 200433
( 飞兆半导体(苏州)有限公司,苏州 )
2 215021
摘要:为了研究电过应力对功率 犕犗犛犉犈犜可靠性的影响,分别对含有焊料空洞、栅极开路和芯片裂纹缺陷的器件进行失
效分析与可靠性研究 利用有限元分析、电路模拟及可靠性加速实验,确定了器件发生 失效的根本原因 并通过优化
. 犈犗犛 .
芯片焊接温度 时间曲线和利用开式感应负载测试方法,比较了工艺优化前、后器件抗 的能力,结果表明优化后器件的
犈犗犛
焊料空洞含量显著减少,抗 犈犗犛能力得到明显提高.
关键词:电过应力;失效分析;犕犗犛犉犈犜;芯片焊接;工艺优化
: ;
犘犃犆犆 7850犌 7215犆
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
犜犖306 犃 02534177200802038106
片焊接温度 时间曲线,利用开式感应负载(
狌狀犮犾犪犿 犲犱
狆
1 引言 犻狀犱狌犮狋犻狏犲犾狅犪犱犻狀犵)测试比较了优化前、后器件抗 犈犗犛
的能力,并进行了分析.
近 年来,随着集成电路的快速发展和自然资源
10
的日渐匮乏,功率器件需求
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