蒸发条件对碘化铅多晶薄膜结构的影响!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 D’ ! #$ ! ， ， ， F:6 +D’ Z: + ! TA[:)?\ #$ （ ） !2%#.O#$OD’ ! O’#E2D WRKW (XYV*RW V*Z*RW ##$ R95; + (97] + V:A + 蒸发条件对碘化铅多晶薄膜结构的影响! ） ） ） ） ! # ! # 李玉红 贺德衍 张 宇 李振生 !）（兰州大学核科学与技术学院，兰州 $% ） # ）（兰州大学物理科学与技术学院，兰州 $% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #$ ! %! #$ % !’ 采用真空蒸发法在普通玻璃上制备了 多晶薄膜 研究了蒸发速率、蒸发源与衬底距离、薄膜厚度以及衬底 ()*# + 温度等实验条件对所制备 多晶薄膜结构的影响 利用 射线衍射仪和扫描电子显微镜对样品进行了测试 结 ()*# + , + 果表明，在衬底温度为室温时得到（ ）择优取向的多晶 薄膜，即沿 轴垂直衬底方向取向生长的薄膜 当衬底 ! ()*# ! + 温度升高时，薄膜的择优取向逐渐由（ ）转向（ ），且晶体颗粒变大 薄膜中的内应力随衬底温度的升高而降低 ! % + + 关键词：蒸发速率，衬底温度，碘化铅薄膜，多晶结构，真空蒸发 ： ， !## $%’- .#/0 响具有实际意义+ 本文研究蒸发速率、蒸发源与衬底 !B 引 言 距离、薄膜厚度以及衬底温度等实验条件对()*# 多 晶薄膜结构的影响+ 用高纯锗和硅制造的半导体探测器虽然取得了 巨大的成功，但它们一般只是在低温下表现出优异 # B 实 验 的器件性能 开发出在室温甚至高温下工作的半导 + 体探测器具有更重要的意义 碘化铅（ ）由于具 + ()*# 用经过严格清洗的普通光学玻璃做衬底，选用 高纯 粉末（ ）为制膜膜料，并将其放在