超低流量科里奥利技术方案.PDFVIP

半导体市场 (超)低流量 科里奥利技术方案 Source: ABB Bronkhorst® 是全球许多大型及声誉非常好的企业优质供应 商。其科里奥利质量流量计和控制器可以用于许多不同的应 Bronkhorst® 用场合： • 配料计量和控制超临界流体 (如超临界CO₂清洗) Bronkhorst®致力于液体与气体用（超）低流量质量流量计和 • (激光) 切割前晶圆保护层沉积 控制器的研发与制造。基于科里奥利原理的流量仪表可以测 量和控制流量范围0.1g/h到600kg/h。 • 平板显示 (FPD) 喷涂 • 金属有机气相沉积 (MOCVD) 适用于半导体，实验室和化学环境中的各种应用。与（齿轮）泵 • 原子层沉积 (ALD) 或（截止）阀配合使用，紧凑型液体质量流量配料剂量系统可 以为重量或容积式配料和剂量方式提供一种备选方案。所有 的仪表均可提供面密封（VCR）配件。 客户至上 Bronkhorst® 提供的不仅仅是流量仪表，而是完整的流量解决 方案。Bronkhorst® 全球视野及本土关怀理念确保了其国际化 销售服务网络能为广大用户提供本地化服务与支持，并为任 何客户给定的应用提供最理想的解决方案。 这种理念也包括通过产品调整来确保每个更精细的应用细节 总是有与之相匹配的定制（如有需要）解决方案。 “全天候”服务与支持 Bronkhorst® 是一家跨国公司，总部位于荷兰 Ruurlo 。客 户服务部为世界每个角落的客户提供 “一周七天，每天24 小时”的全天候快速服务响应。专业的服务团队满足广大 用户售前、售后技术支持、协助现场调试及试运行服务、 定期性检验及校准服务等各种需求。 不断创新的半导体市场 由于半导体器件更快、更小、更高集成度的要求，生产过程要求的精度也更高。为了提高晶圆生产 工艺，需要使用昂贵的新型材料。 晶圆清洗 用超临界CO₂清洗将会是“下一代”的清洗方式，因为超临界CO₂具备以下优势： • 零表面张力（无晶圆损坏） • 可调密度 • 环保（无毒无害） • 可回收处理 针对晶圆清洗,Bronkhorst® 科里奥利仪表有如下优势： 高精度（0.2% 示值）、高重复性 (mini) CORI-FLOW™ 传感器具备0.2%示值的高精度及完美的重复性，确保持续稳定的最终测量结果及高度 稳定的流量控制。 启动、停止和设定值变化的快速响应