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超大规模集成电路的一些材料物理问题!
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知识和进展
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超大规模集成电路的一些材料物理问题（ ）
!
尺寸缩小带来的巨大挑战
刘洪图 吴自勤
（中国科学技术大学物理系 合肥 !##!$ ） （中国科学技术大学天文和应用物理系 合肥 !##!$ ）
摘 要 随着%’( 技术缩至)##*+ 或更小，在%’( 器件结构、接触电阻以及大直径硅晶片等方面均遇到一些
材料物理的巨大挑战,
关键词 超大规模集成电路，接触电阻，自对准硅化物工艺，大直径硅晶片
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结构形式、有效沟道长度、栅氧化层厚度、结深以及 对自对准硅化物等提出的要求中所涉及的材料物
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