化学加工技术.pptVIP

* * 第一节 化学加工的原理和特点 二、化学加工的特点 1、能加工任意难切削金属材料，不受硬度、强度等性能的限制。 2、适合大面积加工，并可同时加工多件。 3、不产生应力、裂纹、毛刺，表面粗糙度达Ra1.25～2.5μm 。 4、操作简便。 第一节 化学加工的原理和特点 5、不适宜加工对窄狭槽、孔。 如图 6、不易消除表面不平、划痕等缺陷。 三、化学加工的应用范围 1、适于大面积厚度减薄加工（一般蚀削厚度＜13mm）。 2、适于在薄壁（1.5mm）件上加工复杂型孔 第一节 化学加工的原理和特点 三、化学铣削工艺过程 表面预处理 涂保护层（涂层厚度约0.2mm） 固化 刻型 腐蚀 清洗 去保护层 第一节 化学加工的原理和特点 保护层材料 氯丁橡胶、丁基橡胶、丁苯橡胶等 涂保护层方法 刷涂、喷涂、浸涂等 腐蚀液材料 常用FeCl3（适用于铝、铜、不锈钢、碳钢等）,已有使用强酸、强碱的。 加工材料与腐蚀液配方表 第一节 化学加工的原理和特点 实验表明，当蚀刻深度达到某值时，有尺寸关系如下： K—腐蚀系数。 H—腐蚀深度。 B—侧面腐蚀宽度。 W1—刻型尺寸。 W2—最终腐蚀尺寸。 第二节 光化学腐蚀加工 光化学腐蚀加工 光化学腐蚀加工(OCM 即Optical Chemical Machining) 光化学腐蚀加工是光学照相制版和光刻（化学腐蚀）想结合的一种精密微细加工技术。 第二节 光化学腐蚀加工 一、光化学腐蚀加工原理与工艺过程？如下 将所需图案摄影到底片上，经光化学反应，将图案复制到涂有感光胶的铜（锌）板上，经坚模固化处理，使感光胶具有一定抗腐蚀性能，最后经过化学腐蚀，使其余涂胶被水溶解掉，从而使铜（锌）板受到腐蚀，即将所需图案复制（腐蚀）到铜（锌）板上。 第二节 光化学腐蚀加工 二、光化学腐蚀加工特点与应用？ 特点、光化学腐蚀加工能在衬底表面获得复杂精细腐蚀图案，精度达0.01～0.005mm。 应用、应用于大规模集成电路、超大规模集成电路，精细微刻、光栅等。 第三节 化学抛光 一般用硝酸、磷酸溶液在一定条件下，使工件氧化表面微凸部分被氧化较快（多），微凹部分被氧化较慢（少），同样突起部氧化层比凹部氧化层扩散快，溶解于酸性溶液，达到表面光整目的 。 化学抛光 化学抛光(CP 即 Chemical Polishing) ？ 第三节 化学抛光 二、化学抛光加工特点与应用？ 特点： 优点：大面积或多件薄壁、低刚度零件；内表面、复杂零件不需外加电源、设备简单。 缺点、效果不及电解抛光，抛光液处理麻烦。 应用：应用于金属、半导体材料的抛光。 *