微型电容式压力传感器的制作与测试.pdf

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2018-05-31 发布于河南
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微型电容式压力传感器的制作与测试

!* 年仪表技术与传感器 !* 第期 ( ?6:;9B456; .5C62LB5 36A -56:@9 Y@ W( 微型电容式压力传感器的制作与测试王绍清，徐肯，冯勇建（厦门大学，福建厦门 ()%* ）摘要：从应用开发产品的实用角度出发，介绍了利用硅硅键合技术制作的微型电容式压力 +,+- $ 传感器，给出了详细的制作工艺及主要工艺步骤图。对微传感器所用的测试装置的组成、测试电路的工作过程进行了详细介绍和深入分析。最后对不同尺寸的微传感器器件进行了测试，并对测试结果进行具体分析。结果表明：该微传感器具有良好的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。关键词：传感器；电容式；压力测试； +,+- 中图分类号：文献标识码：文章编号：（） ./!%! 0 %! $ %’#% !* ( $ ( $ ! !#$%’%() )* +,-’%). (/ 01%’%2, 3$,--4$, 5%$(-,)-($ 6789 :;(=%).，， ? @,) !A89 B().C%) （，，） 123456 762859:2; 123456 ()%* =263 ： 7#-’$’ ?6;9@ABC5A ;5 C3D3C2;285 D95::B95 42C9@:56:@9 D9@ABC5A E -2 $ -2 E@6A26F ;5C6@G@F 26 ;594: @H ;5 D93C;2C3G2; @H +,+- D9@ABC;: I .5 D9@ABC26F ;5C6@G@F 36A 43J@9 A23F934: K595 F2856 26 A5;32G I .5 C@4D@656;: @H ;5 ;5:;26F 5LB2D456; 36A K@9M26F D9@C5:: @H ;5 ;5:;26F C29CB2; K595 26;9@ABC5A 36A 363GN5A 26 A5;32G I 0; G3:;， :@45 ;5:;26F 5OD592456;: K595 A@65 H@9 ;5 D9@ABC5A C3D3;2P C285 D95::B95 42C9@:56:@9: I .5 95:BG;: :@K ;3; ;5 42C9@:56:@9 3: 5OC5GG56; G265392;， 2F :56:2;282; 36A 95G3;285G F@@A :;3E2G2; I ：；；； @,D 6($*- -56:@9 =3D3C2;285 /95::B95 .5:;26F +,+- E 引言片的厚度取决于/ R 层的厚度，这个厚度可以通过温度微传感器具有尺寸微小、质量轻、启动快、成本低、