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Opto-Electronic Engineering Article 光 电 工 程 2017 年，第44 卷，第5 期   光学加工机器人定位误差测量 30 20 与分析 10 Y 0 -10 1,2 1 1 1 韩哈斯额尔敦 *，曾志革 ，刘海涛 ，赵洪深 -20 1 中国科学院光电技术研究所，成都 610209 ； -30 2 中国科学院大学，北京 100049 -30 -20 -10 0 10 20 30 X 摘要：基于工业机器人的高灵活度光学加工系统可以加工大型或形状复杂的工件。但是，机器人自身定位误差特性会 引起磨盘在工件表面上的定位精度降低，从而导致加工精度和加工效率的下降。本文研究了减小定位误差的方法并在 仿真和光学加工实验中进行了验证。首先用API T3 激光跟踪仪实时测出固定在机械臂末端的抛光工具在工作区域内的 定位误差，以此为基础对驻留点进行误差补偿。实验测量结果表明，通过补偿后抛光工具的定位精度达到了光学精密 加工的要求。通过仿真，计算了误差补偿前后磨盘的定位误差引起的驻留时间误差及去除量误差。结果表明，补偿之 后，80% 口径内去除量误差由整体去除量的3.68%降低至0.90%。最后，通过抛光实验验证了，经过位置误差的补偿 并重新规划加工轨迹后，有效提高了加工效率，磨削量控制更精确。 关键词：光学加工机器人；定位误差；去除量误差；抛光 中图分类号：TP242.2 文献标志码：A Measurement and analyses on positioning accuracy for optical processing robots 1,2 1 1 1 Hasirden *, Zhige Zeng , Haitao Liu and Hongshen Zhao 1Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China; 2University of Chinese Academy of Sciences, B