靶基距对脉冲激光沉积犆荦狓薄膜微结构和摩擦学性能的影响.PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２６ １ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．１ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１３ ２ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｆｅｂｒｕａｒ ２０１３ ｙ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１３．０１．０１１ ｊ 靶基距对脉冲激光沉积犆犖狓薄膜微结构和 摩擦学性能的影响 １ １ １ ２ １ １ 宋建强 ，郑晓华 ，杨芳儿 ，陈乐生 ，郑晋翔 ，沈 涛 　 （ 浙江工业大学 机械工程学院，杭州 ； 温州宏丰电工合金股份有限公司，浙江 温州 ） １． ３１００１４ ２． ３２５６０３ 摘 要：用脉冲激光沉积法制备 ＣＮ 靶材在氮气中进行烧蚀，在不同靶基距下制备了ＣＮ 薄膜。用扫描 　 狓 狓 电子显微镜（ ）、 射线光电子谱（ ）和 光谱等对薄膜的表面形貌、化学成分以及元素化学状态 ＳＥＭ Ｘ ＸＰＳ Ｒａｍａｎ 进行了表征。用球盘式微型摩擦磨损试验仪测试了薄膜在大气中的摩擦学特性。结果表明：随着靶基距增 大到 时， 薄膜中的含氮量（原子数分数）上升至 ，有利于 ３ 键和 ３ 键的形成。 ４５ｍｍ ＣＮ ２３．９％ ｓ Ｃ Ｃ Ｎ ｓ Ｃ 狓 ｐ ｐ 当靶基距从 增大至 时，薄膜的含氮量下降至 ，薄膜中 ３ 键和 ３ 键的相对原 ４５ｍｍ ５１ｍｍ １５．５％ ｓ Ｃ Ｎ Ｎ ｓ Ｃ ｐ ｐ 子数分数亦随之减少，薄膜中的 ２ 键的相对原子数分数从 增加至 ，磨损率从 １５ ｓ Ｃ Ｃ ４５．２％ ５５．９％ ４．３×１０ ｐ ３／ 上升至 １４ ３／ 。 薄膜的平均摩擦因数随着靶基距的增大从 下降到 。 ｍ Ｎｍ ３．１×１０ ｍ Ｎｍ ＣＮ狓 ０．２５ ０．１８ 关键词：薄膜；氮化碳；脉冲激光沉积； 射线光电子谱；摩擦磨损 Ｘ 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ）