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中兴大学电机光电工程研究所无尘室使用者收费办法-中兴大学电机系.DOCVIP

中兴大学电机光电工程研究所无尘室使用者收费办法-中兴大学电机系.DOC

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中兴大学电机光电工程研究所无尘室使用者收费办法-中兴大学电机系

中興電機工程研究所無塵室電機工程研究所無塵室電機工程研究所 中興電機工程研究所無塵室儀器設備 收費標準一覽表項次 電機所儀器名稱 服務細項 收費標準(元) 電機(光電)所 校內會員 校內非會員 學校支援採購儀器 1 OAI雙面對準曝光系統(包含光阻處理、光罩對準)A級 晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5)、晶片 (~4)紫外光曝光 2 ICP-RIE(學校目前無補助耗材費) (A級 60分鐘內 0元(60分鐘內 超過0分鐘 元/分 電機工程研究所儀器設備 3 潔淨室使用費A級 含手套、口罩、空調耗材等 1元/分 元/分元/分 4 PECVD(B級 60分鐘內 元 元 元 超過0分鐘 元/分 元/分 元/分 5 ECRCVD級 60分鐘內 元 元 元 超過0分鐘 元/分 元/分 元/分 6 真空熱蒸系統A級 60分鐘內 元元 元 超過0分鐘 元/分元/分 元/分 7 薄膜測厚儀A級 60分鐘內 元元 元 超過0分鐘 元/分元/分 元/分 8 FTIR 光譜儀A級 60分鐘內 元元 元 超過0分鐘 元/分元/分 元/分 9 UV-VIS光譜儀A級 60分鐘內 元元 元 超過0分鐘 元/分元/分 元/分 et Bench (A級 60分鐘內 0元 0元 0元 超過0分鐘 元/分元/分元/分 備註 1.此收費標準係參考等相關收費辦法後制定。 2.請依電機工程研究所規定付費方式付費,另光阻請自備。 中興電機工程研究所無塵室儀器設備暨對外服務 收費標準一覽表項次 電機所儀器 名稱 服務細項 收費標準(元) 學校單位 研究單位 營利事業單位 1 潔淨室使用費 元/分 元/分 元/分 2 雙面對準曝光系統(包含光阻處理、光罩對準)(不包含Wafer和Mask材料) 晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5)、晶片 (~4)紫外光曝光 400+ 10元/分 600+ 10元/分 800+ 10元/分 3 0分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過0分鐘 1500+ 20元/分 2000+ 30元/分 2500+ 40元/分 4 PECVD 0分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過0分鐘 1500+ 20元/分 2000+ 30元/分 2500+ 40元/分 5 ECRCVD 0分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過0分鐘 1500+ 20元/分 2000+ 30元/分 2500+ 40元/分 6 真空熱蒸度系統 0分鐘內 00元 00元 100元 超過0分鐘 00+元/分 00+元/分 100+元/分 薄膜測厚儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 FTIR 光譜儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 UV-VIS光譜儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 wet bench 400/小時 備註 1.此收費標準係參考北區、中區、及南區微機電中心、中央大學光電中心、以及交通大學奈米中心等相關收費辦法後制定。 2.實驗室負責人:江雨龍 教授 3.請依學校規定付費方式付費,另光阻請自備。 4.與中興大學電機系有合作計畫者,則付費方式另訂之。  無塵室,:A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委。D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。,,。

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