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中兴大学电机光电工程研究所无尘室使用者收费办法-中兴大学电机系
中興電機工程研究所無塵室電機工程研究所無塵室電機工程研究所中興電機工程研究所無塵室儀器設備
收費標準一覽表項次 電機所儀器名稱 服務細項 收費標準(元) 電機(光電)所 校內會員 校內非會員 學校支援採購儀器 1 OAI雙面對準曝光系統(包含光阻處理、光罩對準)A級 晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5)、晶片 (~4)紫外光曝光 2 ICP-RIE(學校目前無補助耗材費)
(A級 60分鐘內 0元(60分鐘內 超過0分鐘 元/分 電機工程研究所儀器設備 3 潔淨室使用費A級 含手套、口罩、空調耗材等 1元/分 元/分元/分 4 PECVD(B級 60分鐘內 元 元 元 超過0分鐘 元/分 元/分 元/分 5 ECRCVD級 60分鐘內 元 元 元 超過0分鐘 元/分 元/分 元/分 6 真空熱蒸系統A級 60分鐘內 元元 元 超過0分鐘 元/分元/分 元/分
7 薄膜測厚儀A級 60分鐘內 元元 元 超過0分鐘 元/分元/分 元/分 8 FTIR 光譜儀A級 60分鐘內 元元 元 超過0分鐘 元/分元/分 元/分 9 UV-VIS光譜儀A級 60分鐘內 元元 元 超過0分鐘 元/分元/分 元/分 et Bench
(A級 60分鐘內 0元 0元 0元 超過0分鐘 元/分元/分元/分 備註 1.此收費標準係參考等相關收費辦法後制定。
2.請依電機工程研究所規定付費方式付費,另光阻請自備。 中興電機工程研究所無塵室儀器設備暨對外服務
收費標準一覽表項次 電機所儀器
名稱 服務細項 收費標準(元) 學校單位 研究單位 營利事業單位 1 潔淨室使用費 元/分 元/分 元/分 2 雙面對準曝光系統(包含光阻處理、光罩對準)(不包含Wafer和Mask材料) 晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5)、晶片 (~4)紫外光曝光 400+ 10元/分
600+ 10元/分
800+ 10元/分 3 0分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過0分鐘 1500+ 20元/分 2000+ 30元/分 2500+ 40元/分
4 PECVD 0分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過0分鐘 1500+ 20元/分 2000+ 30元/分 2500+ 40元/分
5 ECRCVD 0分鐘內 1500元 2000元 2500元 超過0分鐘 1500+ 20元/分 2000+ 30元/分 2500+ 40元/分
6 真空熱蒸度系統 0分鐘內 00元 00元 100元 超過0分鐘 00+元/分 00+元/分 100+元/分 薄膜測厚儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 FTIR 光譜儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 UV-VIS光譜儀 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 wet bench 400/小時 備註 1.此收費標準係參考北區、中區、及南區微機電中心、中央大學光電中心、以及交通大學奈米中心等相關收費辦法後制定。
2.實驗室負責人:江雨龍 教授
3.請依學校規定付費方式付費,另光阻請自備。
4.與中興大學電機系有合作計畫者,則付費方式另訂之。 無塵室,:A級:開放給需要使用之學生,經訓練考核後可自行操作。B級:每位教授指派一位學生申請訓練,該教授之其他學生需由接受訓練的學生代為操作,若有教授使用該儀器之學生過多者,可向儀器負責人申請增加接受訓練學生人數。C級:由儀器負責人選定教授推薦之學生若干人接受訓練,經考核後可自行操作儀器並得負責委。D級:由本實驗室之技術人員接受委託服務,不開放使用。,,。
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