感光型BCB负型阻剂绝缘材料及显影液-国家试验研究院.DOCVIP

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 感光型BCB(負型阻劑)絕緣材料及顯影液 招標規範書  招標規範書目錄 項目 頁 次 招標規範書目錄··················································1 說明························································1 規格及數量··················································1-2 規範書釋疑聯絡人············································2 履約期限····················································2 運送過程····················································2 驗收························································2  說明 本規範適用於國家奈米元件實驗室作為電子元件絕緣用同時具有I-line感光功能(負型阻劑)之可旋塗(Spin coating)材料及其顯影液採購。此材料將用於先進Ge電子元件之製程開發。 規格及數量 感光型BCB(負型阻劑)絕緣材料:DOW Photo BCB 4022-25 (或同等品) 1.6 kg(分裝為2瓶)。 規格樣式 Chemical name： Photo BCB 4022-25(或同等品) Application： 絕緣材料同時具負型阻劑功能 Hard cure temperature: 260℃ 介電常數(1kHz-10GHz) 2.7 Volume resistivity 5×1018 Ω-cm 保存期限 至少6個月 顯影液：DOW DS3000 (或同等品) 4 liter(1瓶裝)。 若為同等品者，需由廠商提供測試樣品各50 ml，並檢附相關製程測試報告，經本實驗室測試通過後，方可進行議比價。 規範書釋疑聯絡人 投標廠商對本規範書有任何問題，請於招標釋疑期限內向本實驗室CMOS組 蔡孟諺聯絡， 電話：03-5726100，分機7582。 履約期限 民國101年12月20日以前完成交貨。 運送過程 貨物運送過程須保持在原廠規範的環境中，如溫度、溼度、及避免光線照射等。 驗收 隨貨需附上出貨單、出廠檢驗報告、物質安全資料表(SDS) 及GHS標籤，以利於辦理驗收作業。 國家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 案號：NDL-P-101242 頁 數 PAGE: 2 OF 3 購案名稱：感光型BCB(負型阻劑)絕緣材料及顯影液 2 本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產，非由書面許可，不准透露或使用本文件，亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。