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11-5 型的双光束干涉系统及其应用
* §11－5 典型的双光束干涉系统及其应用 一、典型干涉系统 1、斐索干涉仪：等厚干涉型的干涉仪（光学零件表面质量的检查） a 表面不平度 L3 G L2 P Q L1 激光平面干涉仪 H 球面干涉仪 P L Q D h R1 R2 P Q （1）属于等厚干涉 （2）干涉光束，一个来自标准反射面，一个来自被测面。 （1）光程差与厚度的关系。 （2）厚度变化与条纹弯曲方向的关系。 （3）干涉面间距变化与条纹移动的关系。 条纹分析： 注意应用比例关系 小结： 基本特点： 重点掌握： 测量表面平面度、局部误差 应用： 测量平板的平行度和楔角 2、迈克尔逊干涉仪（1881） （1）系统结构， （2）M1或M2垂直于光线移动时对条纹的影响。 特点： M1 和M2 垂直时是等倾干涉，板厚度很小，楔角不大为等厚干涉，否则是混合型条纹。 掌握： 条纹变化 h增大时，条纹外冒，变密? ? h减小时，条纹内缩，变疏 等倾干涉 等厚干涉 h增大时，条纹向膜较薄的方向移动 h减小时，条纹向膜较厚的方向移动 M1走过的距离 视场中心移过的条纹的数目 单色光波长 混合条纹 DS 优点： 1）两束相干光完全分开 2）光程差可以由一个镜 子的平移来改变 3）可以很方便的在光路 中安置被测量的样品 应用： 测波长、折射率、厚度 用白光条纹作精密测量 3、泰曼干涉仪 通过研究光波波面经光学零件后的变形确定零件质量 结构原理 在迈克尔逊干涉仪的一个光路中加入了被测光学器件 单色准直光照明，使产生等厚干涉条纹，用于检验光学零件的综合质量 检验原理 4、马赫－曾德干涉仪 结构和光路走向如图 适用于研究气体密度迅速变化的状态 利用扩展光源，条纹是定域的 可通过调节M2和G2使条纹虚定域于M2和G2之间 1）大型风洞中气流引起的空气密度变化 应用： 2）可控热核反应中等离子区的密度分布 3）光学全息，光纤和集成光学 *
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