半蚀刻废液电解再利用试验.pptVIP

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2018-03-02 发布于河南
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半蚀刻废液电解再利用试验.ppt

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半蚀刻废液电解再利用试验

基础试验-模拟试验 1、试验方法厂家提供的小型模拟试验机电解试验，回收的再生液调整药液后进行烧杯试验废液电解模拟再生液药液调整再生液烧杯试验Ｃｕ回收分析 1)试验流程 2)模拟设备照片整流器电解槽阳极阴极基础试验-模拟试验 # 试验参数电流密度(A/m2) 电压/V 电流/I 温度(℃) 时间 1 破H2O2 600 220 15 45 每隔30min测量 2 700 220 18 45 每隔30min测量 3 800 220 20 45 每隔30min测量 4 电解铜 200 220 5 45 每隔30min测量 5 300 220 7.5 45 每隔30min测量 6 400 220 10 45 每隔30min测量电解回收条件再生液昏庸条件 # 详细烧杯（2L）温度未再生药液调整后的再生液 1 POR 100% 0% 25° 2 100%再生液 0% 100% 25° 3 90%未再生药液+ 10%调整后的再生液 90% 10% 25° 4 50%未再生药液+ 50%调整后的再生液 50% 50% 25° H2SO4 H2O2 Cu 有机添加剂再生液浓度目标 80g/l 0g/l 5g/l 补加药液浓度要求 180g/l 160g/l 0g/l 0.5%（V/V）需要调整浓度 100g/l 160g/l -5g/l 0.5%（V/V） 60%H2SO4补加量（L）=需要调整浓度X烧杯溶量/899 有机添加剂补加量（L）=需要调整浓度X烧杯溶量 Cu不需要补加基础试验-模拟试验 2、评价项目及结果 # 条件药液浓度 PH 回收Cu/g ORP H2SO4 H2O2 有机添加剂前重量前重量差 1 破H2O2 （电流密度600) 0min 30min - 60min - 90min 2 破H2O2 （电流密度700) 0min 30min - 60min - 90min 3 破H2O2 （电流密度800) 0min 30min - 60min - 90min 电解回收 # 条件药液浓度 PH 回收Cu/g ORP H2SO4 H2O2 有机添加剂前重量前重量差 4 电解铜（电流密度200) 0min 30min - 60min - 90min 5 电解铜（电流密度300) 0min 30min - 60min - 90min 6 电解铜（电流密度400) 0min 30min - 60min - 90min 基础试验-模拟试验 2、评价项目及结果电解回收再生液混用 # 烧杯（2L）放置0hr 放置12hr 未再生药液调整后的再生液药液异物量蚀刻量 Cu面SEM COD 药液异物量蚀刻量 Cu面SEM H202分解率 COD 1 100% 0% 2 0% 100% 3 90% 10% 4 50% 50% 对via，PT工序的影响？？？？基础试验-模拟试验 2、评价项目及结果 # 详细烧杯（2L） H2SO4 H2O2 Cu 温度未再生药液调整后的再生液 1 POR 100% 0% 25° 2 100%再生液 0% 100% 25° 3 90%未再生药液+ 10%调整后的再生液 90% 10% 25° 4 50%未再生药液+ 50%调整后的再生液 50% 50% 25°