光电制程、半导体制程设备供应链 与 技术研发地图78管理.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 3.晶圓製造-蝕刻製程 乾式蝕刻 濕式蝕刻 Etch Bench 弘赫電 嘉智 嵩展 乾式光阻剝除 濕式光阻剝除 Stripper Cleaner 弘赫電 嘉智 帆宣 紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 電極板 Electrode 千附(擬開發) 線性馬達 Linear Motor 大銀 滾珠螺桿 Ball Screw 大銀 線性滑軌 Linear Guideway 大銀 清洗 Parts Clean 嘉智 弘赫電 ↖零組件供應 4.晶圓製造-擴散製程 離子佈植 快速升溫處理 氧化 / 擴散爐 / 擴散退火爐 Furnance / High temp Furnuance 帆宣 資騰 濕式批次處理 Wet Bench 嘉智 弘赫電 濕式單晶圓處理 Spin Cleaner 嘉智 弘赫電 紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 線性馬達 Linear Motor 大銀 滾珠螺桿 Ball Screw 大銀 線性滑軌 Linear Guideway 大銀 ←零組件供應 5.晶圓製造-製程檢測(1) 關鍵尺寸量測 Optical Measurement 揚朋 ADI量測 旭東 薄膜量測 Thin-Film Measurement 帆宣 缺陷量測 Particle Inspection 旭東 帆宣 EAP 羽冠 環境監控系統 Facility Monitoring System 耀群 產品表面監控系統 Surface Particle Counter 耀群 晶片高度檢測機 CCM Lans Holder 均豪 針測機 Probing Equipment 旺矽 微粒子計數器 Particle counter 耀群 2D/3D量測設備 2D/3D measuring system 耀群 紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 ↖周邊設備及其他 5.晶圓製造-製程檢測(2)-零組件 紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 線性馬達 Linear Motor 大銀 滾珠螺桿 Ball Screw 大銀 線性滑軌 Linear Guideway 大銀 6.晶圓製造-自動化設備及其他 晶圓自動傳送模組 EFEM 沛鑫 Stock 高僑 自動化設備 Factory Automation System 旭東 廣運 FOUP垂直搬送機 FOUP Clean Lifter 三橋 紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 精密線性軸承 Single Axis Robot 上銀 ←零組件供應 自動化搬送設備 Automatic Transfer System 旭東 廣運 三橋 7.IC封裝-傳統封裝(1) 晶圓探針 Probe pin socket 技鼎 資騰 測試取放 Sawing placement 技鼎 晶片/封裝切割機 Dicing 七憶 技鼎 資騰 黏晶機 Die Bonder 均豪 覆晶黏晶機 旭東 烘烤 / 迴銲 紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 銲線機 Wire Bonder 均豪 技鼎 自動封膠機 Auto Molding / Mold press 均豪、基丞 萬潤、帆宣 剪切成型機 Trim / Form / Singulation 均豪、基丞 技鼎、帆宣 雷射刻印機 Laser Mark / Laser marking 均豪 基丞 技鼎 封裝 / 基板檢查 / 視覺檢查 Package / Substrate Inspection / Vision inspection 均豪、基丞 技鼎、帆宣 植球機 / BGA植球機 Ball Mount / Ball Mounter 萬潤 帆宣 周邊設備及其他← 7.IC封裝-傳統封裝(2)-周邊設備及其他 晶片薄化研磨 Lapping/Polishing 帆宣 MES/EAP 羽冠 晶粒挑選機 Chip Sorter 均豪 植球/點膠機 Bumping 均豪 自動倉儲 ASRS 盟立 送收料機 Loader / unloader 萬潤 紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 電漿清洗設備 Plasma Cleaner 馗鼎 2D / 3D量測設備 2D / 3