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rfmems器件驱动机制理论与分析-硬件和射频工程师.pdf

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    维普资讯第卷第期微电子学年月器件驱动机制理论与分析南敬昌刘元安黎淑兰北京邮电大学电信工程学院北京辽宁工程技术大学电子与信息工程系辽宁葫芦岛摘要介绍了驱动机制在器件制作中所处的地位以悬梁类型的开关为例介绍了器件的各种驱动方式给出了其原理结构图详细分析了静电驱动压电驱动热驱动和磁驱动的原理对各种驱动机制进行了比较和分析得出应根据不同场合和不同参数要求选择不同驱动机制的驱动器关键词静电驱动压电驱动热驱动磁驱动中图分类号文献标识码文章编号泛应用到手机基站和卫星等通信设备中引言真正意义上的器件都有驱动装置

    维普资讯 第 36卷第 4期 微 电 子 学 Vol_36．№ 4 2006年 8月 M lc，Delecf，Dnfcs Aug．2006 RFMEMS器件驱动机制理论与分析

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