彩色梯度和数学形态学的缺陷图像分割方法.pdfVIP

彩 色梯度和数学形态 学 的缺 陷 图像分 割方法 朱 张宇, 王 俊平 , 郭清衍 , 王瑞岩 , 周海 西 子 工程 , 西 西 安 电 科技大学通信 学院 陕 安 摘要 在对集成 电路 真实缺 陷进行分类与识 别 时 , 缺 陷 图像分 是非常重要 的一 步。 本文提 出一种缺 陷彩 色图像分 方 法 , 该 方 法 用 浏 方 法 陷 图 , 后 结 。 制 的新 首先采 彩 色梯度检 和彩 色数 学形 态学 对 缺 像进行分刻 然 将各分割 果合并 实验 结 果表明本文方 法 能较好 的表征缺 陷的边缘特征 , 从而 为缺 陷源 的识别莫定基础 。 关健词 缺 陷检测 , 图像分刻 , 数 学形态学 叩 周比 住 ‘ 比 花 护 电 ” 司 , 女窑 即 ’ 即 曰 山吐堪 阅 , 即切 闪刘 户叮 , , 脚 仃幻 叱汀 叫碑 义 翎 切 , 窖 湘 司 甲比 叩 司 , 访 即 观曰 即回 长 叮 伐 比 , 盆 面 钾 成 州比 比 地 。份因 以 孚议 次弥 以 印 咖 幻 , , “ 即 让 川吐堪 淡窑 即切 砒山翻旧石司 幻印场 哪乒 引言 制造 电 和器 征尺 , 品 一 重要 问 , 工业 展 中 路规模 的增加 件特 寸的缩小 使产 成本率成为 个 题 它直接与 发 相 。 可 对 影 。 目 , 紧紧 关 研究从布线 中抽取多余物缺陷 解决徽小颐粒缺陷 的 响 前 对缺陷的分析大多集 中在缺 陷模型 的研究上 , 如把缺陷轮 假设为国形的, 或是正方形 的。 该过程虽然简 , 但在缺陷引起故 概 的预侧 廓 单 障 率 方面会 引人很大误差 。 近年来 , 由于计算机技术 计算机视觉、 计算机 图形学、 图像处理和模式识别技术的迅速 发展 , 有关技术使我们有可能对 真实缺陷进行精确 的描述 。 自动描述真实缺 陷的形貌 , 首先应从原始缺 陷图 , ,