RENA机台流量计的校准方法.ppt

* RENA机台流量计的校准方法 2009年1月21日 沙志超 马运兵 * 现象描述： 1月5号下午1点，Intex3-4制绒槽换药，排药并清洗Tank槽后加药，在加药的过程中 出现了Tank槽已满而药液还没加完的现象。电脑显示屏显示还有50.09升HN03 没有加入。 * 故障分析： 1： Tank槽边上的软管上的4个液位传感器误报警；（造成液位传感器误报警的可能原因是槽内药液太脏，导致软管内壁附着残渣） 2：Tank槽内药液没有完全排尽；（造成药液没有完全排尽的可能原因是排液阀门被药液中的残渣堵住或者由于打开排液阀的气压太小，不能使其完全打开）。 3： HF HNO3 DI水的流量计的计数发生漂移。（造成流量计的计数发生漂移的可能原因是由于外围提供的溶液的压力发生变化）。 * 排查过程（一） 必威体育官网网址 检查Tank槽边上的软管上的4个液位传感器的实际情况，发现4个传感器的指示灯为黄色，表明Tank槽已满，且目视软管内有药液的。说明传感器工作正常。 最高液位 最低液位 * 排查过程（二） 检查排液阀V810/15的控制电磁阀的模块和排液阀是否工作正常。 a: 检查V810/15的指示灯为黄色，且有 释放气体的声音； b:检查V810/15的排液阀的压缩空气的压力，压力足够。 * 排查过程（三） 检查流量计的计数是否精准。 由于HF HNO3 药液是由外围的隔膜泵所提供的且压力是由压缩空气来控制的，检查外围压缩空气的压力正常在3bar左右，和原始的压力一样。 压力调节阀的压力为3bar 按照Intex制绒槽加药的顺序先DI水再同时加HF HNO3 ，现在排除HF HNO3 流量计的问题，可以确定是DI水流量计的问题。 * DI水流量计的校准过程： （一） 需要的工具： a:4升量桶； b:软管一段； c:水桶一个； * （二）校准步骤： a:拆下Tank槽DI水的总进水的接头处（V800/17下端的接头）； b:将软管的一端连接上V800/17下端的接头，另一端放在水桶里（接水）； 下端接头 * c:对制绒槽药液定时补加量中的DI水的量进行人为修改，改为5升，原来参数是1升（在校准完以后要改回原来的参数），在前面a,b步骤完成以后就开始进行人为加水 设定5升，在service—eatchbach—70ETCH/VC-DI RL—Kfact参数是267.89的情况补加DI水，实际从流量流出了多少升水，使用量筒测量实际流出了9升水。 * 根据刚才得出的数据和叶轮式流量计的校准公式： V设 .k原来的圈数 V实 K实际的圈数 V设 -------------------人为设定的DI水的量； k原来的圈数-------流量计每加1升DI水的叶轮转的圈数； V实---------------------实际加入DI水的量； K实际的圈数---------实际流量计每加1升DI水的叶轮转应该设定的圈数。 计算出K实际的圈数为148.83升 * 经验总结： 此次故障情况造成设备长时间DOWN机，具体可能的原因是由于年度保养期间外围停水后重新开启后压力发生变化，导致流